邁格諾科提供快速、高質(zhì)量且有制造能力保證的半導(dǎo)體設(shè)備真空閥門維保服務(wù)。我們不僅僅是一家半導(dǎo)體核心精密零組件及真空閥門和特氣管路的供應(yīng)商,并且是一家擁有全套的檢測設(shè)備、豐富的維修經(jīng)驗、專業(yè)的技工團隊的半導(dǎo)體設(shè)備真空閥門維保廠家。邁格諾科有能力維修業(yè)內(nèi)各廠家的真空閥門如日本SMC全系列真空角閥、矩形傳輸閥;瑞士VAT全系列真空閘閥、真空蝶閥、真空門閥;美國MKS全系列角閥、蝶閥。以及V-TEX、AMAT、NC、HVA等眾多品牌。我們能夠修復(fù)受損的閥門零件和結(jié)構(gòu),也能重新制造標(biāo)準(zhǔn)真空閥門及提供閥門維修零件包。
邁格擁有完整的半導(dǎo)體潔凈等級維修流程及標(biāo)準(zhǔn)的維修作業(yè)程序,來保證客戶的真空閥能夠正常運作并效恢復(fù)效能。
為了確保每一個維修過的產(chǎn)品功能如新,我們盡可能采用原廠的材料及標(biāo)準(zhǔn)。為此,我們配備眾多國際一線的專業(yè)的檢測設(shè)備,如美國奧林巴斯光譜儀、??怂箍等鴺?biāo)、硬度計、英??禉z漏儀、閥門壽命測試設(shè)備以及滿足SEMI標(biāo)準(zhǔn),通過第三方認(rèn)證百級潔凈間等。
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產(chǎn)業(yè)類別 | 制程區(qū)域 | 設(shè)備制造商 | 型號 | 制程 | 閥門制造商 | 產(chǎn)品編號 | 產(chǎn)品名稱 | 原廠料號/規(guī)格 | 產(chǎn)品圖片 |
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | Endura 5500 | CVD-TiN | AMAT | TPV-001 | 8"TxZ Throttle Valve | 0010-09035 0010-37768 0010-09035 0010-38027 | |
半導(dǎo)體 | T/F ETCH | AMAT | P-5000 | W-CVD | AMAT | TPV-002 | 6"WCVD Throttle Valve | 0010-10082 | |
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | Centura II | TIV | AMAT | TPV-003 | 12"BWCVD Throttle valve | 0010-17151 0040-05469 0040-09022 | |
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | P-5000 Centura5200 | SSIN BPSG DARC C TEOS SA-CVD | AMAT | TPV-004 | 6"SA Throttle Valve | ||
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | Centura 5200 | TEOS SA-CVD | AMAT | TPV-005 | 8"SA-CVD Throttle Valve 8"TEOS/DxZ ThrottleValve | 0010-10778 0090-0034-001 | |
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | P-5000 | TEOS | AMAT | TPV-006 | 6"TEOS Throttle Valve | 0010-09301 | |
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | Endura 5500 | Copper Seed | AMAT | TPV-007 | PC3 Throttle Valve | 0240-28146 0010-09019 | |
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | Centura 5200 | SA-CVD TEOS | AMAT | TPV-013 | Centura Σ | 0010-02142 | |
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | Producer | SA-CVD BPSG | AMAT | TPV-015 | SA Producer Throttle valve | 0010-09857 0010-26231-001 0010-37140 | |
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | P-5000 | Nitride | AMAT | TPV-020 | 6"Nitride Throttle valve | 0010-76175 | |
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | Centura.12" | PCV | AMAT | TPV-036 | HDP Throttle vavle | PK243A2A-SG36 | |
半導(dǎo)體 | ETCH | AMAT | Centura 5200 | Poly | AMAT | TPV-109 | MxP / Super-E ChamberThrottle Valve | ||
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | Centura 5200 | HDP | AMAT | TPV-111 | DDTV. Throttle Valve | 0010-08384--166 | |
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | Endura 5500 Centura 5200 | Mainfiram | AMAT | SVA-001 | 8"Bellows assembly Slitvalve (TSMC 料號 ) | 0020-22412、0010-26966 0010-01287、0020-20345 0010-15287、0010-76428 | |
半導(dǎo)體 | ETCH | AMAT | Centura 5200 | WAFER.LIFT, ASSEMBLY, Preclean 2 | AMAT | SVA-002 | Slit Valve Bellow Assembly | 0010-20753 | |
半導(dǎo)體 | D/F | RTP | AMAT | SVA-016 | Slit Valve | 0040-75863 REV003 | |||
半導(dǎo)體 | T/F | AMAT | Endura 5500 Endura Il | SPD | AMAT | SVA-102 | 300mm Slit Valve Assembly | 3020-00077 | |
半導(dǎo)體 | D/F | AMAT | RTO-06 | DPN | AMAT | SVA-103 | DPN Chamber Imner DoorA ssembly | NCDO2B50-75DC | |
半導(dǎo)體 | T/F | Novellus | INOVA | VAT | SVA-107 | Slit Valve | 03012-LA24-0001 02112-BA24-APNI |