WIKA威卡 432.25.2 UHP應(yīng)用隔膜壓力表
半導(dǎo)體與平板產(chǎn)業(yè)
氣體分配系統(tǒng)、科研氣體、連接應(yīng)用
的媒體室、優(yōu)異的漂洗性能
經(jīng)過氦氣泄漏測試,泄漏率≤10 -9 mbar·l / s
外殼和介質(zhì)腔室經(jīng)過電拋光,表面粗糙度Ra≤0.25μm
所有超高純氣體接頭
-1.4 bar / -30英寸汞柱... 60 psi
-1.9 bar / -30英寸汞柱... 130 psi
半導(dǎo)體與平板產(chǎn)業(yè)
氣體分配系統(tǒng)、科研氣體、連接應(yīng)用
的媒體室、優(yōu)異的漂洗性能
經(jīng)過氦氣泄漏測試,泄漏率≤10 -9 mbar·l / s
外殼和介質(zhì)腔室經(jīng)過電拋光,表面粗糙度Ra≤0.25μm
所有超高純氣體接頭
-1.4 bar / -30英寸汞柱... 60 psi
-1.9 bar / -30英寸汞柱... 130 psi
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