常規(guī)配置真空系統(tǒng)
真空泵:2X-70 SV300 E2M275
增壓泵:ZJP600 WAU2001 EH2600
高真空泵:分子泵低溫泵擴(kuò)散泵
真空室加熱系統(tǒng):溫度:0到200℃
型號:不銹鋼管裝加熱器
基片架盤型號:12軸公轉(zhuǎn)或公自轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速:0到30轉(zhuǎn)數(shù)/分軟啟,軟停,可調(diào)速電器控制系統(tǒng):PC和PLC控制
VAC系統(tǒng):進(jìn)口復(fù)合真空計
MFC系統(tǒng):進(jìn)口質(zhì)量流量控制器;進(jìn)口電磁閥
APC系統(tǒng):工藝氣體自動恒壓控制系統(tǒng)
濺射電源:HUTTINGER電源或AE電源
深冷系統(tǒng):DW-3
全程自動控制鍍膜,保障生產(chǎn)產(chǎn)品的一致性,重復(fù)性,穩(wěn)定性。
