賽默飛增強(qiáng)型鎖相熱發(fā)射顯微鏡在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
♦ ELITE (增強(qiáng)型鎖相熱發(fā)射顯微鏡) ，鎖相熱發(fā)射顯微鏡如今已成為高等電性故障分析流程中的技術(shù)手段。有缺陷的或表現(xiàn)不佳的半導(dǎo)體器件...
Verios 是 FEI 可靠的 XHR（分辨率）SEM 系列的第二代產(chǎn)品。在半導(dǎo)體制造和材料科學(xué)應(yīng)用中，它可在1至30 kV 范圍內(nèi)提供亞納米量級分辨率以及增強(qiáng)的對比度，滿足材料精密測量所需，同時又不會削弱傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢。
Verios 的材料科學(xué)應(yīng)用
對材料科學(xué)家來說，Verios 可以將亞納米表征拓展到當(dāng)下正在開發(fā)的全新材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對象和其他納米量級結(jié)構(gòu)），從
而讓他們獲得重要的新發(fā)現(xiàn)。無需轉(zhuǎn)而采用 TEM 或其他成像技術(shù)便可獲得高分辨率、高對比度圖像。Verios 可靈活用于各類研究應(yīng)用，能夠容納全尺寸晶圓或
冶金樣本之類的大樣本。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析，也可以開展精確的原型設(shè)計應(yīng)用，例如電子束感應(yīng)式材料直接沉積或光刻。
