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電子束曝光系統(tǒng)/曝光機(jī)

參考價(jià)	￥ 5000000
訂貨量	≥1臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng)北京中科復(fù)華科技有限公司
品牌其他品牌
型號(hào)pharos310
所在地北京市
廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間2024/4/9 9:27:31
訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)607

產(chǎn)品標(biāo)簽:

EBL 電子束曝光系統(tǒng)電子束光刻機(jī)電子束曝光機(jī)

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國(guó)各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學(xué)儀器，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。未來(lái)公司將不斷和引進(jìn)在微納米科學(xué)領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時(shí)也與全國(guó)各所的大學(xué)、學(xué)院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系，致力于把具有市場(chǎng)前景的科研成果推向市場(chǎng)。愿與中、外同仁廣泛合作，為中國(guó)的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)。

展開(kāi)顯示更多內(nèi)容

電子束曝光系統(tǒng)，刻蝕設(shè)備，鍍膜設(shè)備，光刻機(jī)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)

pharos310曝光是利用電子束在涂有感光膠的晶片上直接描畫(huà)或投影復(fù)印圖形的技術(shù)，它的特點(diǎn)是分辨率高、圖形產(chǎn)生與修改容易、制作周期短。其中掃描曝光系統(tǒng)是電子束在工件面上掃描直接產(chǎn)生圖形，分辨率高，生產(chǎn)率低。投影曝光系統(tǒng)實(shí)為電子束圖形復(fù)印系統(tǒng)，它將掩模圖形產(chǎn)生的電子像按原尺寸或縮小后復(fù)印到工件上，因此不僅保持了高分辨率，而且提高了生產(chǎn)率。

電子束曝光系統(tǒng)/曝光機(jī) 產(chǎn)品信息

加速電壓：30Ke可選50Ke

電子束束流：10PA-200nA

單場(chǎng)尺寸：500μmX500μm

樣品臺(tái)：4英寸

樣品臺(tái)：采用激光干涉定位

樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：100mm

最細(xì)線(xiàn)條:30nm

拼接精度：50nm

套刻精度：50nm

中國(guó)的曝光系統(tǒng)行業(yè)市場(chǎng)目前正處于快速發(fā)展的階段，技術(shù)不斷進(jìn)步，產(chǎn)品創(chuàng)新不斷增加。近年來(lái)，曝光系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域也發(fā)生了很大變化，在工業(yè)制造、半導(dǎo)體制造、印刷包裝等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

隨著技術(shù)的進(jìn)步，電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)格局也開(kāi)始發(fā)生變化。中國(guó)電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)格局主要集中于幾個(gè)方面。企業(yè)間的競(jìng)爭(zhēng)日趨激烈，各大廠(chǎng)商均在加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)、品牌宣傳等方面進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)。在產(chǎn)品質(zhì)量方面，各大廠(chǎng)商也競(jìng)相投入，以提升產(chǎn)品的抗腐蝕性、精度、可靠性等性能。再次，在價(jià)格方面，各大廠(chǎng)商也在不斷努力，以提升電子束曝光系統(tǒng)的性?xún)r(jià)比，吸引更多的消費(fèi)者。