隨著半導(dǎo)體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展,電子產(chǎn)品都往小型化,輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出,穿戴電子產(chǎn)品成為了一個(gè)新的電子設(shè)備應(yīng)用潮流。隨著電子產(chǎn)品的小型化,器件體積越做越小,空間就緊湊起來,這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸,現(xiàn)在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米級別,這就需要一個(gè)高速、高精度的測量手段來管控生產(chǎn)品質(zhì)。
卓立漢光的3D形貌測試儀應(yīng)運(yùn)而生,這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù),能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu),對肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測。因?yàn)榫哂休^快的掃描速度,微米級別的精度和的穩(wěn)定性,一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點(diǎn)膠、3D玻璃,半導(dǎo)體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測,就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。
卓立漢光長期專注于光譜技術(shù)的應(yīng)用研發(fā),3D形貌測試儀就是常年實(shí)踐積累的成果(號:CN207556477U)。該項(xiàng)技術(shù),具有以下優(yōu)點(diǎn):
優(yōu)點(diǎn)/ 技術(shù)/項(xiàng)目 | 線性共焦光譜技術(shù) | 點(diǎn)測技術(shù) | 激光掃描 | 3D相機(jī) |
速度 | 1000 line/s | 1000 point/s | 1000 line/s | 多角度拍照快 |
掃描寬度 | 6.5mm/20mm | 點(diǎn) | 可選 | 大 |
分辨率 | 1um | 1um | 30um | 100um |
界面層數(shù) | 多層 | 多層 | 表面 | 表面 |
建模 | 否 | 否 | 否 | 是 |
數(shù)據(jù)量 | 大 | 大 | 少 | 少 |
3D形貌測試儀主要特點(diǎn)有:
1、非接觸性測量;
2、線掃描,高效率;
3、微米級精度;
4、滿足透明面及高對比度表面測試;
5、支持二次開發(fā);
主要應(yīng)用
1、精密部件3D尺寸及段差測試;
2、精密點(diǎn)膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試;
3、3D玻璃缺陷檢測;
4、半導(dǎo)體表面缺陷測試;
5、多層薄膜厚度測試;
磁盤探頭形貌掃描測試
手機(jī)邊框段差測試
3D形貌測試儀產(chǎn)品型號及規(guī)格
| HawkEye-1300 | HawkEye-5000 |
方式 | 共焦光譜 | 共焦光譜 |
精度 | 1um | 8um |
重復(fù)性 | ±0.3um | ±4um |
線掃寬度 | 6.5mm | 20mm |
Z軸量程范圍 | 1.3mm | 5mm |
掃描速度 | 300line/s(Max:1000line/s) | 300line/s(max:1000line/s) |
重量 | 5Kg | 8Kg |
尺寸 | 460X300X140mm | 460X300X140mm |