小型離子濺射儀噴金厚度KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動擋板功能。
小型離子濺射儀噴金厚度通過定時調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備名稱 | 小型濺射儀 | 小型蒸鍍儀 |
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 | 7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 |
工作電源 | 直流濺射電源 | 直流熱蒸發(fā)電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W | ≤1500W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A | 電壓≤12V 電流≤100A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa | |
腔體真空 | ≤30Pa | |
擋板類型 | 電控 | |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm | 石英腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） | |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 | |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm | 70-140mm |
蒸發(fā)坩堝容積 | 3ML | |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1600℃ | |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） | |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 | |
可選配擴(kuò)展 | 1 膜厚在線測試 2 分子泵 | |
公司簡介：
鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營為一體的材料設(shè)備創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國內(nèi)大多數(shù)實驗室 及校，科探儀器已經(jīng)成為老師 同學(xué)和信任的品牌。 公司以科技創(chuàng)新為主，服務(wù)社會為宗旨，積極設(shè)計開發(fā)新型材料制備設(shè)備，奉獻(xiàn)于教育和科學(xué)，經(jīng)過長期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累，擁有熱工，制造，控制相關(guān)技術(shù)10余項，為化學(xué)，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過和院校老師 同學(xué)強強聯(lián)合，形成了有效的信息，技術(shù)交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持！
目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實驗電爐 CVD供氣系統(tǒng) 小型離子濺射儀 等離子清洗機(jī) 小型離子濺射儀 小型蒸鍍儀 石英管真空封口 半導(dǎo)體等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。
公司與國內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開放實驗室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。
