等離子清洗機(jī)清洗缺點(diǎn)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。
等離子清洗機(jī)清洗缺點(diǎn)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉(cāng)體,采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉(cāng)門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較,從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作,特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn) 樣品清洗 和教學(xué)。
滾筒等離子清洗機(jī)針對(duì)粉末或者顆粒的360度表面處理設(shè)備,通過旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)石英攪拌罐使樣品處于懸空位置達(dá)到360度清洗。
設(shè)備型號(hào) | KT-Z2DQX | KT-S2DQX | KT-Z5DQX | KT-S2GQX |
供電電源 | AC220V(AC110V可選) | |||
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) | |||
射頻電源功率 | 1000W | 150W | 300W | 150w |
射頻頻率 | 40KHz | 13.56MHz | ||
耦合方式 | 電容耦合 | |||
真空度 | ≤50Pa | |||
腔體材質(zhì) | 高純石英 | |||
腔體容積 | 2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) | 2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) | 5L(內(nèi)徑160MMX深度310MM) | φ100x200mm |
觀察窗內(nèi)徑 | Φ50 | Φ50 | Φ70 | 無(wú) |
氣體流量 | 10—100ml/min(其他量程可選) | |||
過程控制 | 過程自動(dòng)控制 | 過程手動(dòng)控制 | 過程自動(dòng)控制 | 過程手動(dòng)控制 |
清洗時(shí)間 | 自動(dòng)開關(guān) | |||
開蓋方式 | 鉸鏈側(cè)開式法蘭 | |||
外形尺寸 | 150*500*250mm | 450*460*370mm | 530*580*420mm | |
重量 | 20kg | 35kg | 40kg | 40Kg |
真空室溫度 | 小于65°C | |||
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | |||
標(biāo)配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說明書一本。 |