產(chǎn)品名稱：ENTEGRIS流量控制器InVue6550
產(chǎn)品型號(hào)：InVue6550
產(chǎn)品介紹：
Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今的流量控制挑戰(zhàn)。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學(xué)品流量控制而設(shè)計(jì)。 IFC 6550 型設(shè)計(jì)的流速為 60、90 或 120 L/min，非常適合用于次晶圓廠散裝化學(xué)品輸送應(yīng)用以及需要高流量的液體處理系統(tǒng)。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測(cè)量技術(shù)和的閉環(huán)過程控制。 視覺指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報(bào)狀況提供診斷，使用戶能夠集成更多的過程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設(shè)計(jì)用于超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 漿料應(yīng)用。 它還設(shè)計(jì)用于控制氣泡產(chǎn)生介質(zhì)。
ENTEGRIS流量控制器InVue6550 性能特點(diǎn)：
●使用成熟可靠的差壓流量測(cè)量技術(shù)和的閉環(huán)過程控制
●視覺指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報(bào)狀況提供診斷
●集成壓力傳感器提供額外的過程信息
●使用氣泡產(chǎn)生介質(zhì)經(jīng)過驗(yàn)證的測(cè)量和控制
●堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供穩(wěn)定性和長期可靠性
●設(shè)計(jì)為 60、90 或 120 L/min流速
參數(shù)：
●流量控制精度：滿刻度的±1%（使用去離子水在23°C[73°]下校準(zhǔn)）
●重復(fù)性：滿量程的±0.5%
●壓力測(cè)量輸出：0–689 kPa（0-100 psig）
●壓力精度：滿量程的±1%
●工作壓力：
103–552千帕（15–80磅/平方英寸）（60升/分鐘，90升/分鐘）
172–552千帕（25–80磅/平方英寸）（120升/分鐘）
●輸出信號(hào)：兩個(gè)4–20 mA電隔離輸出，一個(gè)用于流量，另一個(gè)用于壓力
●響應(yīng)時(shí)間：
≥15磅/平方英寸（60升/分鐘，90升/分鐘）時(shí)<3秒
≥25磅/平方英寸（120升/分鐘）時(shí)<3秒
●非操作超壓限值：827 kPa（120 psig）
●工藝溫度：10–65°C（50–149°F）
●電氣輸入：1.2安培時(shí)為24 VDC（±10%）
●設(shè)定值輸入信號(hào)：4–20 mA，0–10 VDC
●外殼：IP54
●重量：3.2千克（7磅）
●產(chǎn)地：美國
