產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
EVG770是一款用于分步和重復(fù)工作的紫外納米壓印設(shè)備,能有效在襯底上制作復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。通常用于晶圓級(jí)光學(xué)的制造和EVG SmartNIL工藝所需的母版。
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·支持12英寸(300mm)晶圓
·分辨率可達(dá)50nm(取決于模版和工藝條件)
·可選cassette-to-cassette上下料
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
EVG770是一款用于分步和重復(fù)工作的紫外納米壓印設(shè)備,能有效在襯底上制作復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。通常用于晶圓級(jí)光學(xué)的制造和EVG SmartNIL工藝所需的母版。
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·支持12英寸(300mm)晶圓
·分辨率可達(dá)50nm(取決于模版和工藝條件)
·可選cassette-to-cassette上下料
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