產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
EVG720是一款全自動(dòng)化的紫外納米壓印設(shè)備,能在大面積、高產(chǎn)量、低成本的條件下加工出高精度的納米結(jié)構(gòu),非常適合于下一代微流控器件、光學(xué)器件,例如光學(xué)衍射元件(DOE)。
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·支持6英寸(150mm)晶圓
·分辨率可達(dá)40nm(取決于模版和工藝條件)
·專(zhuān)有的適用于SmartNIL的多用途聚合物軟板技術(shù)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
EVG720是一款全自動(dòng)化的紫外納米壓印設(shè)備,能在大面積、高產(chǎn)量、低成本的條件下加工出高精度的納米結(jié)構(gòu),非常適合于下一代微流控器件、光學(xué)器件,例如光學(xué)衍射元件(DOE)。
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·支持6英寸(150mm)晶圓
·分辨率可達(dá)40nm(取決于模版和工藝條件)
·專(zhuān)有的適用于SmartNIL的多用途聚合物軟板技術(shù)
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