產(chǎn)品簡(jiǎn)介:EVG 620NT(NIL)是一款基于EVG620NT光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備,基于Smart NIL掩膜對(duì)準(zhǔn)技術(shù)
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·支持6英寸(150mm)晶圓
·分辨率可達(dá)40nm(取決于模版和工藝條件)
·支持汞燈或的UV-LED光源
·可選配功能:
鍵合對(duì)準(zhǔn)
紅外對(duì)準(zhǔn)
SmartNIL
微接觸印刷
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:EVG 620NT(NIL)是一款基于EVG620NT光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備,基于Smart NIL掩膜對(duì)準(zhǔn)技術(shù)
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·支持6英寸(150mm)晶圓
·分辨率可達(dá)40nm(取決于模版和工藝條件)
·支持汞燈或的UV-LED光源
·可選配功能:
鍵合對(duì)準(zhǔn)
紅外對(duì)準(zhǔn)
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