產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
EVG 610(NIL)是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備,可針對(duì)壓印、光刻、對(duì)準(zhǔn)功能進(jìn)行快速轉(zhuǎn)換。
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·支持6英寸(150mm)晶圓
·分辨率可達(dá)40nm(取決于模版和工藝條件)
·支持汞燈或的UV-LED光源
·可選配功能:
鍵合對(duì)準(zhǔn)
紅外對(duì)準(zhǔn)
納米壓印光刻(NIL)
微接觸印刷