硅基叉指電極結(jié)構(gòu)高低溫探針臺KT-Z4019MRL4T
叉指電極傳感器主要包括四個結(jié)構(gòu)參數(shù)，分別為:叉指電極對的對數(shù)、叉指寬度、相鄰叉指之間的間隙距離以及叉指電極的厚度。這四個參數(shù)對基于叉指電極的生化傳感器關(guān)鍵性能指標都有很大影響。通過分析叉指電極阻值的計算公式可發(fā)現(xiàn)，叉指的長寬比越大，叉指的密度越大，叉指電極的初始電阻越小，從而傳感器的靈敏度和響應(yīng)速度就會越高。當叉指電極結(jié)構(gòu)尺寸減小到微米量級以下，叉指電極結(jié)構(gòu)間的微弱的電阻變化可以被靈敏地檢測到，叉指電極傳感器的靈敏度得以顯著提高。叉指電極結(jié)構(gòu)周圍的電場分布可以通過理論分析以及數(shù)值模擬計算得到，計算結(jié)果表明叉指電極傳感器的電場強度與電極厚度成近似反比關(guān)系，電極越厚，電場強度越小。因此，通過優(yōu)化叉指電極傳感器的相關(guān)結(jié)構(gòu)參數(shù)可以提高生物化學傳感器的性能，當應(yīng)用于不同的傳感檢測領(lǐng)域時，可能需要使用不同結(jié)構(gòu)參數(shù)的叉指電極結(jié)構(gòu)。
硅基叉指電極結(jié)構(gòu)高低溫探針臺KT-Z4019MRL4T 參數(shù)
真空腔體 | ||
類型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
腔體進氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺 | ||
樣品臺材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 值 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機界面 | |
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數(shù)接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 | |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數(shù)量 | 4探針（可擴展5探針） | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動探針移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿） | |
