小型高低溫探針臺(tái) 真空探針臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測(cè)量，真空腔一體成型，具有設(shè)計(jì)合理，真空度穩(wěn)定，溫控精度及機(jī)械精度高等特點(diǎn)；根據(jù)測(cè)試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件，溫度可達(dá)到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-196℃，；真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達(dá)到10-3Torr或10-6Tor
小型高低溫探針臺(tái)
真空腔體 | ||
類型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
腔體真空測(cè)量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺(tái) | ||
樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺(tái)-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺(tái)溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | |
溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號(hào)輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數(shù)量 | 4探針（可擴(kuò)展5探針） | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) | ||
X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)） | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿） | |
