產(chǎn)品介紹
ELS-HAYATE能夠在數(shù)小時內(nèi)制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具。ELS-HAYATE非常適合需要高吞吐量和超細(xì)圖案分辨率的大型制造寫入場。
性能特點(diǎn)
- 可實(shí)現(xiàn)字段大小5mm的統(tǒng)一繪制
- 實(shí)現(xiàn)了業(yè)界的5毫米偏轉(zhuǎn)。因?yàn)榭梢越y(tǒng)一繪制的區(qū)域變大，因此它非常適合在意字段間連接誤差的應(yīng)用程序。此外，由于樣品表面內(nèi)的載物臺移動次數(shù)也減少，高吞吐量的微細(xì)加工也能起到作用。
- 采用大電流電子光學(xué)系統(tǒng)
- 配備高電流電子光學(xué)系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)超出電子束光刻常識的高通量微制造。以前通過激光光刻或光刻產(chǎn)生的微米到毫米量級的圖案，現(xiàn)在可以高質(zhì)量曝光。
- 400MHz生產(chǎn)用高速掃描時鐘
- 當(dāng)在高電流下進(jìn)行光刻時，須將光斑間距設(shè)置得較寬，以平衡小劑量時間和良好劑量。
技術(shù)參數(shù)
- 產(chǎn)地：日本
- 加速電壓：50 kV
- 束流：1 nA～800 nA
- 最小光束直徑：D 10 nm
- 標(biāo)準(zhǔn)場尺寸：5000μm
- 最小/字段大?。?/li>
- 最小1000μm
- 5000μm
- 掃描時鐘：400MHz
- 最小發(fā)射間距：最小1.0nm
- 樣品尺寸：8“晶圓/12”晶圓
- 曝光F/S：200毫米x 200毫米/300毫米x 300毫米
- 加載機(jī)制：
- 單臺自動裝載機(jī)
- 多功能自動裝載機(jī)
- 機(jī)器人裝載機(jī)
產(chǎn)品參數(shù)
