多種氣體流量計(jì)混合配比器模擬式質(zhì)量流量控制器是是中國(guó)早的氣體測(cè)控產(chǎn)品，迄今為止已經(jīng)30多年。 產(chǎn)品種類50余種，涵蓋數(shù)字型，普通型，大量程型，高精度型，快響應(yīng)型，耐壓型，金屬密封型等多種類型的需求。產(chǎn)品歷經(jīng)市場(chǎng)考驗(yàn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、食品、航空電力等行業(yè)，已經(jīng)成為支撐各工業(yè)領(lǐng)域行業(yè)發(fā)展的重要設(shè)備。
產(chǎn)品用途;
多種氣體流量計(jì)混合配比器和氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 集成電路工 藝設(shè)備, 如外延爐、擴(kuò)散爐、CVD、等離子刻蝕機(jī)、濺射臺(tái)、離子注入機(jī); 以及鍍膜設(shè)備、 光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測(cè)量?jī)x、氣相色譜儀及 其它分析儀器。
氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行 精密控制和測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 集成電路工 藝設(shè)備, 如外延爐、擴(kuò)散爐、CVD、等離子刻蝕機(jī)、濺射臺(tái)、離子注入機(jī); 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測(cè)量?jī)x、氣相色譜儀及 其它分析儀器。
