硅基叉指電極結(jié)構(gòu)高低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T
叉指電極傳感器主要包括四個(gè)結(jié)構(gòu)參數(shù),分別為:叉指電極對(duì)的對(duì)數(shù)、叉指寬度、相鄰叉指之間的間隙距離以及叉指電極的厚度。這四個(gè)參數(shù)對(duì)基于叉指電極的生化傳感器關(guān)鍵性能指標(biāo)都有很大影響。通過(guò)分析叉指電極阻值的計(jì)算公式可發(fā)現(xiàn),叉指的長(zhǎng)寬比越大,叉指的密度越大,叉指電極的初始電阻越小,從而傳感器的靈敏度和響應(yīng)速度就會(huì)越高。當(dāng)叉指電極結(jié)構(gòu)尺寸減小到微米量級(jí)以下,叉指電極結(jié)構(gòu)間的微弱的電阻變化可以被靈敏地檢測(cè)到,叉指電極傳感器的靈敏度得以顯著提高。叉指電極結(jié)構(gòu)周圍的電場(chǎng)分布可以通過(guò)理論分析以及數(shù)值模擬計(jì)算得到,計(jì)算結(jié)果表明叉指電極傳感器的電場(chǎng)強(qiáng)度與電極厚度成近似反比關(guān)系,電極越厚,電場(chǎng)強(qiáng)度越小。因此,通過(guò)優(yōu)化叉指電極傳感器的相關(guān)結(jié)構(gòu)參數(shù)可以提高生物化學(xué)傳感器的性能,當(dāng)應(yīng)用于不同的傳感檢測(cè)領(lǐng)域時(shí),可能需要使用不同結(jié)構(gòu)參數(shù)的叉指電極結(jié)構(gòu)。
硅基叉指電極結(jié)構(gòu)高低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T 參數(shù)
真空腔體 | ||
類型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離) | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接) | |
腔體真空測(cè)量口 | KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接) | |
腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘) | |
樣品臺(tái) | ||
樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺(tái)-視窗 距離 | 11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm) | |
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺(tái)溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫100℃/min 值 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | |
溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號(hào)輸入類型 | PT100 (可選K S B型熱電偶) | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數(shù)量 | 4探針(可擴(kuò)展5探針) | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選) | |
探針尖 | 10μm | |
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) | ||
X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm(需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)) | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°(需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿) | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm(需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿) |