分析表明，叉指電極傳感器的電極對數(shù)對叉指電極傳感器的信噪比沒有影響。原因在于:叉指電極傳感器的信號的大小和噪聲的大小都和叉指電極結(jié)構(gòu)的表面積成正比例變化關(guān)系。當叉指電極對數(shù)增加時，叉指電極結(jié)構(gòu)的表面積隨之增大，叉指電極傳感器的信號的大小和噪聲的大小同時等比例增大，使得叉指電極傳感器的信噪比基本保持不變。因此可以得出結(jié)論，電極的對數(shù)對叉指電極傳感器信噪比的大小基本沒有影響。叉指電極間距的減小可以使信噪比增大的同時提高信號幅。如應(yīng)用于化學傳感領(lǐng)域，叉指電極間距的減小還可以有效地提高化學反應(yīng)的速率、加快建立反應(yīng)進行過程，從而能夠提高傳感器性能，并縮短叉指電極傳感器反應(yīng)的時間。叉指電極傳感器的電極寬度的減小在提高信噪比的同時會使檢測信號的幅值降低。
折疊
制造工藝
1.叉指電極基底的選擇
襯底 成本 金屬化 機械性
陶瓷 中等 一般 較差
塑料 低廉 較差 一般
硅 較高 較好 非常好
玻璃 較低 較好 較差
柔性叉指電極微型探針臺
柔性叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T 參數(shù)
真空腔體 | ||
類型 | 高溫型室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
腔體進氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺 | ||
樣品臺材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 值 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機界面 | |
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數(shù)接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 | |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數(shù)量 | 4探針（可擴展5探針） | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動探針移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿） | |
