產(chǎn)品介紹
FemtoLAB 是一款飛秒激光微加工工作站。需要為各種任務(wù)定制解決方案的科學(xué)實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)部的好選擇。FemtoLAB 激光工作站提供亞微米分辨率的組合激光微加工工藝，可執(zhí)行多種應(yīng)用。
性能特點(diǎn)
- 制造具有亞微米分辨率的復(fù)雜物體
- 高速高精度微加工
- 光束傳輸和功率控制效率高
- 工業(yè)級飛秒激光器
- 高性能檢流計(jì)掃描儀
- 物體運(yùn)動(dòng)與激光脈沖時(shí)空同步
- 的軟件界面控制所有硬件單元
技術(shù)參數(shù)
- 產(chǎn)地：立陶宛
- 推薦材料：所有材料：玻璃、藍(lán)寶石、硅、陶瓷、金屬、塑料、光纖等。
- 激光：高功率超短脈沖紅外、綠光、紫外激光
- 樣本量：兼容 160 mm x 160 mm 的設(shè)計(jì)
- 最小特征尺寸：200納米
- 定位系統(tǒng)：XYZ 機(jī)械軸，定位精度 +- 0.3 μm，具有連續(xù)晶圓級圖案化
- 掃描系統(tǒng)：適用于所有激光波長的振鏡系統(tǒng)
- 樣品處理：手動(dòng)與自動(dòng)對齊
- 尺寸（長 x 寬 x 高）：1500 × 1350 × 1400mm
- 重量：1100kg
- 電源：2x 220 VAC, 16 A
產(chǎn)品參數(shù)
