SM-150勻膠機(jī) 產(chǎn)品概述：
SM-150旋涂機(jī)是一款手動(dòng)或半自動(dòng)薄膜涂覆的高性能勻膠機(jī)，它的優(yōu)點(diǎn)在于具有令人信服的涂膜均勻性和工藝重復(fù)性，并且操作簡(jiǎn)單、使用舒適。市面上常見的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆。旋涂工藝腔設(shè)計(jì)的直徑為176mm，為了便于客戶對(duì)旋涂工藝腔清潔上的維護(hù)，SAWATEC公司開發(fā)了一種非常實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的工藝腔保護(hù)碗。工藝結(jié)束后，可以簡(jiǎn)單地移除和清理這種保護(hù)碗。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設(shè)計(jì)，盡可能的降低了用戶的使用維護(hù)成本。因此，SAWATEC勻膠機(jī)也被應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)，試產(chǎn)項(xiàng)目以及研究所等各種場(chǎng)景。
SM-150勻膠機(jī) 基本功能和技術(shù)參數(shù)：
（1）適用基材類型：晶圓片、硅片、玻璃片等表面結(jié)構(gòu)、厚度不大的基材；（防止基板太厚不能合上蓋子）
（2）適用基材尺寸：小碎片至150mm (6英寸) 直徑圓片或者127x127mm (5英寸x5英寸)方片；
（3）可編程設(shè)置多達(dá)50條程序(每條程序包含24個(gè)程序段)；
（4）旋轉(zhuǎn)速度：0 到 10,000rpm （+/-1rpm）
（5）旋轉(zhuǎn)加速度：0–8,000rpm 為0.8秒；0–10,000rpm為1秒 。（空載時(shí)）
（6）旋轉(zhuǎn)減速度：10,000rpm-0 為2.5秒；8,000rpm-0 為0.8秒 。（空載時(shí)）
（7）工藝時(shí)間：每個(gè)程序段的給膠時(shí)間為 0~99秒，總的工藝時(shí)間可為0~2376秒；
（8）3.5英寸彩色顯示屏的觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置；
（9）旋轉(zhuǎn)方向 ：順時(shí)針、逆時(shí)針；
（10）手動(dòng)裝卸基材，通過真空和安全互鎖保護(hù)來固定基材；
（11）手動(dòng)蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護(hù)；
（12）工藝結(jié)束時(shí)有聲音信號(hào)；
選配項(xiàng)：
（1）半自動(dòng)式50毫升管式滴膠系統(tǒng)，帶有手動(dòng)給膠手臂和回吸功能；
（2）旋涂工藝腔的氮?dú)獯祾撸?/span>
（3）用于簡(jiǎn)化操作的“啟動(dòng)/停止"腳踏開關(guān)(電纜長(zhǎng)度 1.8m)；
（4）經(jīng)陽極氧化鋁電鍍處理制成旋涂工藝腔；
（5）鋁制或 PE(聚乙烯)材料制成的工藝腔保護(hù)碗（內(nèi)襯）；
（6）晶圓對(duì)準(zhǔn)工具 2~6英寸(適用圓形基材)；
（7）勻膠機(jī)吸盤（chuck）：為了達(dá)成良好的涂覆效果，我們提供了不同尺寸、材料和設(shè)計(jì)的。根據(jù)用途的不同，可使用單塊一體式結(jié)構(gòu)勻膠機(jī)吸盤或具有光學(xué)輔助置中功能的兩部分構(gòu)成的勻膠機(jī)轉(zhuǎn)接托盤。勻膠機(jī)吸盤的安裝、更換過程非常簡(jiǎn)單，不需要使用工具。
設(shè)計(jì)和尺寸：
（1）桌上式版本 ：SM -150-BT
（2）內(nèi)嵌式版本： SM-150-BM
（3）緊湊且節(jié)省空間的結(jié)構(gòu)形式；
（4）POM(聚甲醛樹脂)材料制成的工藝碗，確保了高材料兼容性；
（5）POM(聚甲醛樹脂)材料制成的集成式防濺環(huán)，確保無光刻膠濺出；
（6）透明蓋板：玻璃制成；
（7）具有高精度旋轉(zhuǎn)電機(jī)：
（8）經(jīng)電解拋光處理的不銹鋼外殼；
（9）外殼(桌面版): 350 x 510 x 403mm (長(zhǎng)*寬*高）
（10）重量(桌面版): 約 29kg
（11）控制器模塊(內(nèi)嵌版): 300 x 300 x 368mm (長(zhǎng)*寬*高）
（12）控制器面板(內(nèi)嵌版): 320 x 166 x 50mm（長(zhǎng)*寬*高）
（13）重量(內(nèi)嵌版): 約 20kg
電源和接口：
（1）電源：230 VAC 50/60Hz 10A
（2）腳踏開關(guān)用插頭接口；
（3）真空接口：4mm
（4）CDA接口：4mm
（5）排放接口： Ø12mm
（6）桌面版廢氣接口 Ø38mm ；內(nèi)嵌版廢氣接口 Ø25mm；
