Zeta-380/Zeta-380I光學輪廓儀概述

型號：Zeta-380/Zeta-380I

產(chǎn)品：光學輪廓儀/表面輪廓測試系統(tǒng)

品牌：Zeta澤塔

簡介：zeta-380i系統(tǒng)是一個自動化的檢測和計量包裝，檢查HBLED底物如圖案化藍寶石晶片的優(yōu)化

Zeta-380/Zeta-380I晶圓檢測和計量HBLED

的zeta-380i系統(tǒng)是一個自動化的檢測和計量包裝檢驗HBLED底物如圖案化藍寶石晶片的優(yōu)化快掃描缺陷全英寸晶圓為小1μ米直徑在2.5分鐘。使用缺陷的地圖審查與高分辨率的三維光學輪廓儀的缺陷，小于30秒每缺

Zeta-380/Zeta-380I簡單的操作

簡單的配方和缺陷檢查結(jié)合自動缺陷審查使用缺陷地圖文件

完成的zeta-380i包可以配置所有的軟件和硬件需要全面的缺陷檢測和分析–以及Zeta的證明光學技術測量和報告系統(tǒng)的尺寸檢測- >檢討- >措施>分類

縮短過程反饋的前置時間，節(jié)省了寶貴的時間。的zeta-380i配備自動缺陷審查功能節(jié)省了時間和簡化了缺陷分析

從zeta-380i 3D圖像分析為大多數(shù)缺陷的答案。這減少了需要審查的耗時和昂貴的原子力顯微鏡或掃描電鏡分析的缺陷的數(shù)量。

Zeta-380/Zeta-380I系統(tǒng)的特點

相機選項：640x480，1024x768 1280x960

放大倍數(shù)：35000x結(jié)合光學與數(shù)字

照明：三（3）超亮白光LED

機動化階段：150mm×150mm XY旅游

Z軸行程：40mm

Zeta-380/Zeta-380I光學輪廓儀技術規(guī)格

Zeta-380/Zeta-380I缺陷檢測

尺寸（mm）

系統(tǒng)（寬）：1000 x 860 x 840

計算機：381×457×102

監(jiān)視器：596×449×240

總重量：145磅/ 65公斤

Zeta-380/Zeta-380I操作規(guī)范

電壓：100 - 230伏

電流：4A

操作溫度：18-30°C，非—

凝結(jié)，每小時1°C

1 1 / 3“0.5X耦合攝像鏡頭

2 2 / 3“0.35X耦合攝像鏡頭

3靜態(tài)重復性基于VLSI 0.94μm臺階高度標準，100X / 0.9n

目的，壓階段，與標準zdot成像模式

Zeta-380/Zeta-380I性能配置

缺陷：150秒為一個完整的4英寸圓片

~ PSS計量：30秒/網(wǎng)站

三維缺陷審查：~ 30秒/站點的典型（zdot）

~ 10秒/網(wǎng)站zsi

像素分辨率：0.09μm 0.5X耦合器和100

民z-step：2 nm可壓階段

13納米與標準Z驅(qū)動器

z軸分辨率：1?zsi選項

13納米標準zdot

repeatability3：7海里（1σ