1、主要特點：
數(shù)字化系統(tǒng)協(xié)同設(shè)計、MEMS工藝制造
諧振工作原理健壯、本征數(shù)字輸出信號
振子真空微囊包裹結(jié)構(gòu)、高Q值長期穩(wěn)定
差頻工作模式、分辨率和靈敏度高
適于表壓、絕壓、差壓高精度測量
覆蓋低、中、高寬壓力量程范圍
2、主要性能技術(shù)指標
序號
項目
規(guī)格指標
備注
1
壓力類型
表壓、差壓
絕壓
絕壓
基準壓力量程
0～1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa
100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa
1*
2
過載能力
≥3倍基準量程（≤10MPa）；≥1. 5倍基準量程（＞10MPa）；≥1. 25倍基準量程（≥60MPa）
1*
被測介質(zhì)
與金屬、單晶硅、玻璃兼容的非腐蝕性、絕緣氣體和液體
3
激勵電源
5～24 Vdc
4
準確度
≤ ±0.05%FS，≤ ±0.02%FS，≤ ±0.01%FS
2*、3*
5
工作溫度范圍
-55～+125℃
6
補償溫度范圍
－55～＋85℃
7
典型工作頻率
30～50kHz
2*
8
靈敏度
2～15Hz/hPa
2*
9
Q值
＞20000
10
長期穩(wěn)定性
±0.02%FS/年
2*、
11
電流消耗
3.5mA
12
絕緣電阻
>100MW
8*
13
電氣連接模式
接插件、多芯線纜
14
測量接口形式
螺紋、法蘭
6*
注：1*. 可用戶定制；
2*. 5VDC恒壓激勵，恒溫25℃；
3*.非線性數(shù)據(jù)計算為最小二乘法；
4*. 100VDC。
注：可提供定制服務(wù)，如有需求請與營銷人員聯(lián)系。
