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四方光電股份有限公司（以下簡稱“四方光電”）是一家從事智能氣體傳感器和氣體分析儀器的科創(chuàng)板上市企業(yè)（代碼688665）。公司2003年成立于武漢“光谷”，形成了包括光學(紅外、紫外、光散射、激光拉曼)、超聲波、MEMS金屬氧化物半導(dǎo)體 (MOX)、電化學、陶瓷厚膜工藝高溫固體電解質(zhì)等原理的氣體傳感技術(shù)平臺，擁有100余項國內(nèi)外zhuanli，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于空氣品質(zhì)、環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)過程、安全監(jiān)測、健康醫(yī)療、智慧計量等領(lǐng)域。
四方光電建設(shè)有省級企業(yè)技術(shù)中心和湖北省氣體分析儀器儀表工程技術(shù)研究中心。同時公司積極融入國家技術(shù)創(chuàng)新體系，先后獲得國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項、工信部物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展專項、工信部強基工程傳感器、科技部科技助力經(jīng)濟2020重點專項、湖北省技術(shù)創(chuàng)新重大項目等多個項目的支持，被國內(nèi)外行業(yè)機構(gòu)列為中國氣體傳感器主要廠商和代表性企業(yè)，并榮獲中國物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟“影響力物聯(lián)網(wǎng)傳感企業(yè)獎”。
深耕傳感器領(lǐng)域21年，四方光電憑借長期的技術(shù)沉淀、嚴格的質(zhì)量體系及化視野，已經(jīng)成為諸多世界500強及國內(nèi)外細分領(lǐng)域頭部企業(yè)的配套供應(yīng)商。目前公司產(chǎn)品已經(jīng)出口至八十多個國家和地區(qū)，正在朝著傳感器領(lǐng)域的品牌邁進。
| 加工定制 | 是 | 輸出信號 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 制作工藝 | 其他 | 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 | 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR)，能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，適合半導(dǎo)體行業(yè)化學沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備腔室的清潔終點監(jiān)測。
四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器產(chǎn)品特性
使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計，便于集成
四氟化硅傳感器技術(shù)參數(shù)
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復(fù)性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
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