檢測需求：
潔凈室需要控制污染物水平。準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室氣態(tài)分?污染物AMC控制可以顯著的提升產(chǎn)能。
可靠的監(jiān)測：
高靈敏度的DKG ONE-CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì)，可保證長期高穩(wěn)定性。
超靈敏光學(xué)懸臂梁麥克風(fēng)
技術(shù)應(yīng)用：
DKG ONE-CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量?級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了?夠的靈敏度可以無時延的探測最微小濃度的CF4溢出，同時保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)的周期長達(dá)幾個?甚?幾年，大大減低了總體持有成本。
優(yōu)勢：
準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室污染控制
快速的響應(yīng)時間，以捕捉濃度突然上升
獨立運行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵
無耗材或者化學(xué)試劑
短光程，單點校準(zhǔn)也可達(dá)到突出的動態(tài)量程
直接吸收測量，無漂移
校準(zhǔn)間隔長（可達(dá)數(shù)年）
高選擇性，不受乙醛和其他VOC的?擾
特點：
高選擇性的監(jiān)測痕量水平的CF4
檢測下限(LoD)低于0.1 ppb
響應(yīng)時間可設(shè)置，從3秒到3分鐘
動態(tài)范圍寬，運行穩(wěn)定
無耗材
低樣品量
內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)
重新校準(zhǔn)間隔長（幾個月）
直觀的用戶界面
內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果
可通過局域網(wǎng)遠(yuǎn)程操作
機(jī)箱選項：
實時在線分析
DKG ONE-CF4為用戶提供簡潔直觀的用戶界面，包括一塊高分辨率的顯示屏和一個旋轉(zhuǎn)按鈕。
便攜操作
可選的便攜式外箱適用于可預(yù)見泄漏區(qū)域的檢測。
移動式整合方案
幾個DKG ONE-CF4單元可以整合在同一個監(jiān)測系統(tǒng)。
技術(shù)原理
工作原理：紅外光聲光譜
超靈敏光學(xué)麥克風(fēng)，基于微電機(jī)懸臂傳感器，結(jié)合激光干涉儀測量懸臂梁的微觀運動
光源：分布式反饋量子級聯(lián)激光
樣品池溫度穩(wěn)定于50℃
檢測參數(shù)
響應(yīng)時間：根據(jù)通道積分時間(C.I.T.)和氣體 置換周期，典型從3秒到3分鐘
檢測限：0.1ppb
動態(tài)量程：典型5級(100,000倍檢測限)
重復(fù)性：小于1%的測量值，在工作條件標(biāo)準(zhǔn)濃 度下
準(zhǔn)確度：取決于校準(zhǔn)濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體的精度，典型2～5 %
溫度穩(wěn)定性：在溫度工作范圍內(nèi)無影響
壓力穩(wěn)定性：在壓力工作范圍內(nèi)無影響
通用
19”3 U工業(yè)機(jī)箱，適用于全部臺式或機(jī)架固定安裝
尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)
重量：約13kg
內(nèi)置7”前置顯示器的嵌入式計算機(jī)
數(shù)據(jù)存儲容量足夠至少1年的連續(xù)監(jiān)測
總采氣量：10～30ml
后面板有四路氣體接口，兩路為采樣接口，配有粉塵顆粒物過濾器
供電：
輸入電壓：100～240VAC，50～60 Hz
輸入功率：100～200 W（根據(jù)具體要求而定）
通訊接口：Ethernet、USB
DKG ONE-CF4可以通過智能手機(jī)，平板，電腦或者另一臺DKG ONE-CF4（即將推出)遠(yuǎn)程控制
環(huán)境
運行條件
溫度范圍：0℃～+49℃
濕度：無凝露
壓力：750mbar～1050 mbar
防塵/水等級：IP20(IEC 529)
儲存條件
溫度范圍：-20℃～+60℃
樣品氣體條件
溫度范圍：0℃～+49℃
濕度：無凝露，溫度達(dá)35°C時最大相對濕度80%，
溫度達(dá)49°C時線性下降至35%
壓力：750 mbar～1050 mbar
氣流：約1L/min
顆粒物<1μm
標(biāo)準(zhǔn)：
符合低電壓指令2014/35/EU，EMC指令2004/108/EC和ROHS 2指令2011/65/EU
