型號:OTF-1500X-6Z
產(chǎn)品概述:OTF-1500X-6Z是一款6溫區(qū)開啟式管式爐,剛玉管和不銹鋼密封法蘭,溫度可達(dá)1500℃。六個獨(dú)立的溫控系統(tǒng),采用S型熱電偶,控溫精度為 +/ - 1°C。此款設(shè)備可非常好地用于高溫CVD和熱處理應(yīng)用。
爐體結(jié)構(gòu) | ? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并且安裝有風(fēng)冷系統(tǒng) ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高溫度均勻性和延長爐膛使用壽命 ? 6個溫區(qū)由6個獨(dú)立的溫控儀表控制,溫度1500℃,控溫精度可達(dá)+/ - 1°C ? 總加熱區(qū)長度為1440mm ? 此設(shè)備可得到較長恒溫區(qū),也可獲得不同的溫度梯度 |
輸入功率 | ? 22KW |
工作電壓 | ? AC380V, 三相 50/60Hz(需要100A的空氣開關(guān)) |
工作溫度 | ? 1500℃(小于30分鐘) |
連續(xù)工作溫度 | ? 1400℃ |
建議升溫速率 | ? 5℃/min |
爐管 | ? 材料:高純氧化鋁管(剛玉) ? 尺寸: 60 O.D x 51 I.D x 1800mm L ? 可選購直徑達(dá)到 Φ100mm石英管(使用溫度為1200℃) Φ100mm高溫合金管(使用溫度為1100℃) |
加熱區(qū)長度 | ? 總加熱區(qū)長度:1440mm(包含溫區(qū)之空白區(qū)) ? 每個加熱區(qū)長度Z1+Z2+Z3+Z4+Z5+Z6:284.5mm + 177.8mm + 177.8mm + 177.8mm +177.8mm+284.5 mm ? 恒溫區(qū)長度:800mm(+/- 2oC,每個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度) 注意:溫度梯度可通過溫區(qū)之間插入隔熱環(huán)來進(jìn)行調(diào)節(jié)。 |
溫控系統(tǒng) |
? 6個溫區(qū),由獨(dú)立的PID程序溫控系統(tǒng)控制 ? 可設(shè)置30段溫度程序,精確控制加熱速率,降溫速率和保溫時間 ? 帶有超溫保護(hù)和報警 ? 控溫精度:+/- 1 oC ? 6根S型熱電偶(每個溫區(qū)一根) ? 可選: (1)通過安裝控制模塊,可由PC機(jī)操作高溫爐。請額外訂購一個MTS-02控制模塊。 (2)如果您訂購PC控制模塊和高溫爐,我們將在裝運(yùn)前對其進(jìn)行安裝和測試。我們建議您向我們訂購一臺筆記本電腦,以避免軟件安裝問題
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歐陸控溫系統(tǒng)(可選) |
? 加熱通道 ? 程序可設(shè)置8或24段 ? 控溫精度: ±0.1oC ? 菜單:用PC工具菜單功能可被建立,用于選取不同的熱處理工藝。對于用同一款設(shè)備對不同的材料采用不同工藝處理非常方便有用。 |
電腦,軟件&無線控制(可選) | ? Labview 溫控系統(tǒng),使用戶可編輯溫度曲線,管理熱處理配方,記錄和繪制數(shù)據(jù)
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真空度 | ? 10^-2 torr (采用機(jī)械泵) ? 10^-5 torr (采用分子泵系統(tǒng))
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隔熱管堵放置 | ? 設(shè)備中配有2個隔熱管堵,可查看圖片了解隔熱管堵放置位置 ? 可選購法蘭支撐架,避免爐管轉(zhuǎn)動
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加熱元件 | ? 48根1500℃級別SiC棒(尺寸Φ14mm . x 150mm 加熱段?x ?413mm L) ? 加熱元件是消耗品,可在本公司選購6根S型熱偶,安裝在設(shè)備上
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外形尺寸 | ? 1950 mm L × 660 mmW × 762 mmH |
重量 | ? 300kg |
應(yīng)用注意事項(xiàng) | ? 爐管設(shè)計用于真空和低壓< 0.02 Mpa ? 不可將石墨坩堝放入到陶瓷爐管中 ? 注意:用戶所用氣瓶上必須安裝雙級減壓閥
? 進(jìn)氣流量小于200SCCM(或200ml/min) |
質(zhì)保 | ? 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(消耗品不包含,如爐管,密封圈,加熱元件等) |
質(zhì)量認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件(輸入電壓≦24V)都通過了UL/CSA認(rèn)證
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