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產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-III-RR是一套卷對卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對卷銅箔收放密封裝置、1200℃三溫區(qū)管式爐、真空機(jī)組3部分組成。此設(shè)備可用于。
大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)模化生長。
工作電源:AC220V,50/60Hz ? 功率:5 KW ? 加熱元件:電阻絲 ? 溫度:1200℃ (使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變)(< 1h) ? 長期使用溫度:1100℃ ? 推薦升溫速率:≤ 10℃ /min ? 爐管:高純石英管:φ100*1400mm ? 總加熱區(qū)長度:600mm(150+300+150mm) ? PID控溫,具有超溫及斷偶保護(hù) ? 控溫精度:±1℃ | |
500W等離子源(選配) | ? 輸出功率:50-500W可調(diào)±1% ? RF頻率: 13.56MHz,穩(wěn)定性±0.005% ? 噪聲:≤ 55DB ? 冷卻:風(fēng)冷 ? 輸入功率:1KW AC 220V |
三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)(選配) | ? 電壓:AC220V/50Hz ? 功率:23W ? PLC觸摸屏控制 ? 混氣罐尺寸:φ80*120mm ? 工作溫度:5~45 oC ? 壓力: 3x106 Pa ? 精度: ±1.5% FS ? 線性: ±(0.5-1.5)%F.S. ? 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. ? 流量范圍: 一路: 1~50 SCCM (甲烷標(biāo)定) 二路: 1~200 SCCM (氫氣標(biāo)定) 三路: 1~200 SCCM (氬氣標(biāo)定) |
真空測量單元 | ? 型號(hào):PGC-554-LD ? 測量范圍:3.8E-5 to 1125 Torr ? 精度:5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 100 … 950 mbar % of reading ±5 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5 |
低真空機(jī)組 (選配) | ? 由雙旋機(jī)械泵、雙層立式油霧過濾器(PE材質(zhì))、電阻真空計(jì)以及連接管道接頭等組成 ? 真空泵抽氣速率≥4.4L/s ? 極限真空度10-1Pa ? 真空計(jì)測量范圍10-1Pa-105 Pa |
卷對卷銅箔收放密封裝置 | ? 采用卷對卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動(dòng)進(jìn)出料,銅箔的移動(dòng)速度為1-400mm/min可調(diào); ? 配置一卷約2公斤重的銅箔,銅箔寬度:80mm,銅箔厚度0.025mm; ? 收放卷機(jī)構(gòu)分別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi),保證銅箔可在密封生長條件下進(jìn)行運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)大規(guī)模制備。 ? 真空腔室極限真空度 < 5*10-2ttor(冷態(tài)下,機(jī)械泵抽20分鐘) |
產(chǎn)品認(rèn)證 | ? 電器元件電壓>24V的,可選擇通過UL認(rèn)證 |
產(chǎn)品尺寸 | ? 2400*600*1400mm |
產(chǎn)品重量 | ? 400 kg |
質(zhì)保期 | ? 一年保質(zhì)期,終生維護(hù) |