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全自動(dòng)單工位晶圓減薄機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市夢啟半導(dǎo)體裝備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)DL-GD3002A
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/10/2 13:45:34
  • 訪問次數(shù)133
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深圳市夢啟半導(dǎo)體裝備有限公司成立于2021年,是經(jīng)深交所主板上市公司長盈精密投資控股的子公司,是一家專注于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與新能源產(chǎn)業(yè)的智能裝備制造企業(yè),公司主要專業(yè)從事全自動(dòng)高精密晶圓減薄機(jī)、高精密晶圓拋光機(jī)、全自動(dòng)高精密晶圓倒角機(jī)、晶圓研磨機(jī)、晶圓上蠟機(jī)等硬脆材料的加工裝備、以及高精度氣浮主軸部件系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。


產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)。包括但不限于太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍(lán)寶石片、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的加工,同時(shí),公司也提供技術(shù)支持和售后服務(wù),以滿足客戶的各種需求。


作為一家智能裝備制造企業(yè),深圳夢啟半導(dǎo)體裝備注重技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量。公司擁有一支專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì),可以根據(jù)市場需求和客戶需求進(jìn)行定制化開發(fā)。同時(shí),公司也擁有生產(chǎn)設(shè)備和完善的品質(zhì)管理體系,確保每一臺(tái)設(shè)備都符合客戶的期望和要求。在未來的發(fā)展中,深圳市夢啟半導(dǎo)體裝備有限公司將繼續(xù)致力于技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量提升,為客戶提供更優(yōu)質(zhì)、更可靠的智能裝備解決方案。

 

全自動(dòng)晶圓減薄機(jī)、晶圓研磨機(jī)、晶圓倒角機(jī)、CMP拋光機(jī)
全自動(dòng)單工位晶圓減薄機(jī)具有多段磨削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求。兼容4寸~12寸(Φ100mm~Φ300mm)晶圓研削減薄加工。
全自動(dòng)單工位晶圓減薄機(jī) 產(chǎn)品信息
設(shè)備優(yōu)勢

◎ 減薄單元采用軸向進(jìn)給(In-Feed)磨削原理,兼容4寸~12寸(Φ100mm~Φ300mm)晶圓研削減薄加工。


◎ 設(shè)備配有MARPOSS精密在線測量儀單元,加工時(shí)實(shí)時(shí)測量產(chǎn)品厚度,精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測量NCG。


◎ 設(shè)備具有多段磨削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求。


◎ 設(shè)備核心是具有自主產(chǎn)權(quán)的靜壓氣浮磨削主軸、1個(gè)承片主軸的全自動(dòng)單工位磨削減薄機(jī)。


◎ 為了實(shí)現(xiàn)高精度、高品質(zhì)的加工,搭載了高剛性、低振動(dòng)、低熱膨脹的氣浮主軸。工作臺(tái)的主軸亦同樣搭載高剛性、低振動(dòng)、低熱膨脹的機(jī)械軸承部件。


◎ 全自動(dòng)上下料??蛇M(jìn)行4寸(40um)~12寸(80um)超薄晶圓加工。


◎ 配置了觸摸式液晶顯示器,提高了操作便利性??刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設(shè)備狀態(tài),操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作。

性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-GD3002A-X
晶圓尺寸in兼容?4''/?6''/?8''/?12''(Φ100mm~Φ300mm)
研磨方式-晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑mm?250/?300金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW5.5/7.5/12.3
額定轉(zhuǎn)速RPM3000
磨削精度片間厚度變化
um≤±3
TTVum≤3
表面粗糙度Raum0.15(#2000)
設(shè)備尺寸(W x D x H)mm1650x1945x2135
設(shè)備重量KG約3500
關(guān)鍵詞:工作臺(tái) 顯示器
15700106413
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