設(shè)備優(yōu)勢
◎ 減薄單元采用軸向進(jìn)給(In-Feed)磨削原理,兼容4寸~12寸(Φ100mm~Φ300mm)晶圓研削減薄加工。
◎ 設(shè)備配有MARPOSS精密在線測量儀單元,加工時(shí)實(shí)時(shí)測量產(chǎn)品厚度,精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測量NCG。
◎ 設(shè)備具有多段磨削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求。
◎ 設(shè)備核心是具有自主產(chǎn)權(quán)的靜壓氣浮磨削主軸、1個(gè)承片主軸的全自動(dòng)單工位磨削減薄機(jī)。
◎ 為了實(shí)現(xiàn)高精度、高品質(zhì)的加工,搭載了高剛性、低振動(dòng)、低熱膨脹的氣浮主軸。工作臺(tái)的主軸亦同樣搭載高剛性、低振動(dòng)、低熱膨脹的機(jī)械軸承部件。
◎ 全自動(dòng)上下料??蛇M(jìn)行4寸(40um)~12寸(80um)超薄晶圓加工。
◎ 配置了觸摸式液晶顯示器,提高了操作便利性??刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設(shè)備狀態(tài),操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作。
性能參數(shù)
參數(shù)名稱 | 單位 | DL-GD3002A-X | |
晶圓尺寸 | in | 兼容?4''/?6''/?8''/?12''(Φ100mm~Φ300mm) | |
研磨方式 | - | 晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削 | |
砂輪直徑 | mm | ?250/?300金剛石砂輪 | |
主軸 | 額定功率 | KW | 5.5/7.5/12.3 |
額定轉(zhuǎn)速 | RPM | 3000 | |
磨削精度 | 片間厚度變化 | um | ≤±3 |
TTV | um | ≤3 | |
表面粗糙度Ra | um | 0.15(#2000) | |
設(shè)備尺寸(W x D x H) | mm | 1650x1945x2135 | |
設(shè)備重量 | KG | 約3500 |