產(chǎn)品概述
有效祛除VOCs、SOx、NOx、HF、HCl、 O3、NH3等
密褶式結(jié)構(gòu)設(shè)計,低阻
不發(fā)塵、無釋氣
可制作各種尺寸
典型應(yīng)用
- 微電子組件組裝
- TFT/LCD生產(chǎn)
- LTPS/OLED生產(chǎn)
- 晶圓制造
- 硬盤、驅(qū)動制造
VariSorb CE化學(xué)過濾器整體外框由鋁型材構(gòu)成,進出風面各有一層護面網(wǎng),保證了堅固的結(jié)構(gòu),可抵抗在運輸、搬運和操作過程中的損壞。
安裝
VariSorb CE化學(xué)過濾器配套AAF的buffer frame框架使用,安裝更換快捷高效??蚣芸裳h(huán)使用,節(jié)省成本。
濾料介質(zhì)
VariSorb CE化學(xué)過濾器濾料可選高活性椰殼活性炭、浸漬活性炭和離子交換樹脂,既可做成單一功效也可做成復(fù)合功效,這些濾料被束縛在兩層無紡布夾層中。與傳統(tǒng)的柱狀顆?;钚蕴窟^濾器不同,粉末狀濾料提供了顆粒微觀結(jié)構(gòu),確保單位質(zhì)量的濾料具有更高的有效面積,從而產(chǎn)生高吸附性能,再加上微觀結(jié)構(gòu)的緊密堆積,這就為氣態(tài)分子污染物創(chuàng)造了一條曲折的路徑,從而使過濾器獲得高吸附效率。
濾料限度地暴露,且被牢固地粘合于無紡布纖維基質(zhì)中,過濾器成品幾乎不產(chǎn)塵,且保證了成品的低阻力。
質(zhì)量管控
AAF有專業(yè)的化學(xué)實驗室,VariSorb CE化學(xué)過濾器在出廠前進行out-gassing和out-particle測試,測試結(jié)果符合半導(dǎo)體廠的使用要求,確保在使用過程中不對潔凈室造成二次污染。
服務(wù)
安裝完后,AAF可提供潔凈室內(nèi)的AMC濃度檢測服務(wù)。
對于尺寸和性能數(shù)據(jù):
下載完整手冊- 外框:鋁合金,結(jié)構(gòu)堅固
- 濾料:椰殼活性炭、浸漬活性炭和離子交換樹脂,可根據(jù)實際需要靈活選擇
- 功能:可同時對顆粒物和氣體污染物進行過濾,低濃度下,性能優(yōu)異
- 性能:密褶式設(shè)計,低阻高效
- 可靠性:使用中不發(fā)塵、無釋氣
- 尺寸:可根據(jù)實際需要定制
- 初阻力:30pa@1.0m/s&150mm厚度
- 連續(xù)運行溫度:≤49℃
- 耐濕性:≤70%RH