型號：OTF-1500X-6Z
產(chǎn)品概述：OTF-1500X-6Z是一款6溫區(qū)開啟式管式爐，剛玉管和不銹鋼密封法蘭，溫度可達1500℃。六個獨立的溫控系統(tǒng)，采用S型熱電偶，控溫精度為 +/ - 1°C。此款設(shè)備可非常好地用于高溫CVD和熱處理應用。
| 爐體結(jié)構(gòu) | ? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并且安裝有風冷系統(tǒng) ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高溫度均勻性和延長爐膛使用壽命 ? 6個溫區(qū)由6個獨立的溫控儀表控制，溫度1500℃，控溫精度可達+/ - 1°C ? 總加熱區(qū)長度為1440mm ? 此設(shè)備可得到較長恒溫區(qū)，也可獲得不同的溫度梯度 |
| 輸入功率 | ? 22KW |
| 工作電壓 | ? AC380V, 三相 50/60Hz（需要100A的空氣開關(guān)） |
| 工作溫度 | ? 1500℃（小于30分鐘） |
| 連續(xù)工作溫度 | ? 1400℃ |
| 建議升溫速率 | ? 5℃/min |
| 爐管 | ? 材料：高純氧化鋁管（剛玉） ? 尺寸： 60 O.D x 51 I.D x 1800mm L ? 可選購直徑達到 Φ100mm石英管（使用溫度為1200℃） Φ100mm高溫合金管（使用溫度為1100℃） |
| 加熱區(qū)長度 | ? 總加熱區(qū)長度：1440mm（包含溫區(qū)之空白區(qū)） ? 每個加熱區(qū)長度Z1+Z2+Z3+Z4+Z5+Z6：284.5mm + 177.8mm + 177.8mm + 177.8mm +177.8mm+284.5 mm ? 恒溫區(qū)長度：800mm(+/- 2oC,每個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度） 注意：溫度梯度可通過溫區(qū)之間插入隔熱環(huán)來進行調(diào)節(jié)。 |
| 溫控系統(tǒng) |
? 6個溫區(qū)，由獨立的PID程序溫控系統(tǒng)控制 ? 可設(shè)置30段溫度程序，精確控制加熱速率，降溫速率和保溫時間 ? 帶有超溫保護和報警 ? 控溫精度：+/- 1 oC ? 6根S型熱電偶（每個溫區(qū)一根） ? 可選： （1）通過安裝控制模塊，可由PC機操作高溫爐。請額外訂購一個MTS-02控制模塊。 （2）如果您訂購PC控制模塊和高溫爐，我們將在裝運前對其進行安裝和測試。我們建議您向我們訂購一臺筆記本電腦，以避免軟件安裝問題 |
| 歐陸控溫系統(tǒng)（可選） | ? 加熱通道 ? 程序可設(shè)置8或24段 ? 控溫精度: ±0.1oC ? 菜單：用PC工具菜單功能可被建立，用于選取不同的熱處理工藝。對于用同一款設(shè)備對不同的材料采用不同工藝處理非常方便有用。 |
| 電腦，軟件&無線控制（可選） | ? Labview 溫控系統(tǒng)，使用戶可編輯溫度曲線，管理熱處理配方，記錄和繪制數(shù)據(jù) |
| 真空度 | ? 10^-2 torr （采用機械泵） ? 10^-5 torr （采用分子泵系統(tǒng)） |
| 隔熱管堵放置 | ? 設(shè)備中配有2個隔熱管堵，可查看圖片了解隔熱管堵放置位置 ? 可選購法蘭支撐架，避免爐管轉(zhuǎn)動 |
| 加熱元件 | ? 48根1500℃級別SiC棒（尺寸Φ14mm . x 150mm 加熱段?x ?413mm L） ? 加熱元件是消耗品，可在本公司選購6根S型熱偶，安裝在設(shè)備上 |
| 外形尺寸 | ? 1950 mm L × 660 mmW × 762 mmH |
| 重量 | ? 300kg |
| 應用注意事項 | ? 爐管設(shè)計用于真空和低壓< 0.02 Mpa ? 不可將石墨坩堝放入到陶瓷爐管中 ? 注意：用戶所用氣瓶上必須安裝雙級減壓閥 ? 進氣流量小于200SCCM（或200ml/min） |
| 質(zhì)保 | ? 一年質(zhì)保期，終生維護（消耗品不包含，如爐管，密封圈，加熱元件等） |
| 質(zhì)量認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件（輸入電壓≦24V）都通過了UL/CSA認證 |
