高溫充氮無氧烘箱
主要用于光刻膠固化、精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,參考國外同類產(chǎn)品技術(shù)研發(fā)的無氧烤箱。
主要特點:
1.選用全陶瓷纖維保溫,升溫快、節(jié)能環(huán)保。
2.的送風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng),確保爐內(nèi)溫度均勻。
3.吸風(fēng)口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。(充氮無塵烘箱使用)
一、技術(shù)參數(shù):
1.規(guī)格型號:TWY-100
2.使用溫度:RT~400℃或450℃;
3.爐膛尺寸≥:450×450×500mm(W×D×H),單腔體;
4.爐膛材料:SUS304無磁性鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器、熱偶;
5.空爐升溫時間:約1.5-2h;空爐降溫時間:300℃-50℃降溫時間1.5-3.5小時(采用水冷翅片散熱器);或風(fēng)冷(選配);
6.氧含量記錄:無紙記錄儀(上海英盛)。
7.溫度記錄儀:日本RKC儀表
8.溫度過沖:約8-10℃;溫度分布:±5℃-8℃,一個測溫點
9.溫度偏差:±5℃-8℃
10.鼓氮流量(標準):開始時200L流量計,后面保持120L流量計,分別對應(yīng)兩個流量計
二、氧含量(配氧分析儀):會根據(jù)不同的氧含量濃度配流量計
1.氧含量濃度:≤ 100ppm、≤ 50ppm、 ≤ 20ppm
2.控溫穩(wěn)定度:±1℃;溫度均勻度:±2.5%(500℃平臺)。
三、控制輸出:
1.控溫儀表:RKC溫控儀表;
2.控制:爐腔單獨控溫、通氣、報警保護;
3.控溫段數(shù):4×10段;控溫點數(shù):1點;
4.超溫報警點數(shù):1點;檢測點數(shù):1點;
5.報警保護:超溫、斷偶等聲光報警保護;超溫保護:獨立感溫式超溫保護器;6.電機保護:電機過電流、水冷保護; 表面溫升:<30℃;