晟爾斯sensaras多點(diǎn)超聲波液位計(jì)PLS960(PLS9600)的產(chǎn)品描述
超聲波侵入式多點(diǎn)液位系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中PVD、CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內(nèi)高純度化學(xué)品液位的高精度和高可靠性的測量。液位系統(tǒng)在化學(xué)氣相沉積過程中至關(guān)重要，如ALD，CVD，PVD等半導(dǎo)體晶圓制造過程。PLS960系列多點(diǎn)液位系統(tǒng)專業(yè)用于檢測非常昂貴的超高純度化學(xué)品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、DECT、TCA和金屬化初級(jí)粒子等）的準(zhǔn)確數(shù)量，減少化學(xué)廢物，增加產(chǎn)量和利潤。
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 通過超聲波回波處理技術(shù)檢測液體在容器中的存在狀態(tài)
- 不受被測物的介電常數(shù)、顏色、密度和粘度等參數(shù)影響
- 探頭采用316L 不繡鋼材質(zhì)，通過?”或?” VCR與容器連接
- 探頭采用套筒式或叉式結(jié)構(gòu)，一體式設(shè)計(jì)，無可移動(dòng)部件
- 模塊與探頭分離，無需校準(zhǔn)，易安裝
- 的套管設(shè)計(jì)可根據(jù)用戶不同點(diǎn)位的要求定制
晟爾斯sensaras多點(diǎn)超聲波液位計(jì)PLS960(PLS9600)的 主要應(yīng)用
- 多點(diǎn)液位測量
- 高位/溢出報(bào)警
- 低位/停止、再進(jìn)料
- 半導(dǎo)體行業(yè)和醫(yī)藥制藥行業(yè)
技術(shù)規(guī)格
電路： 輸 入： 24VDC
輸 出： 每點(diǎn)1A SPDT
1A SPDT 報(bào)錯(cuò)點(diǎn)或自動(dòng)進(jìn)料/退料
本地溫度顯示可選
可高達(dá)7點(diǎn)液位顯示和報(bào)錯(cuò)顯示
針對不同液體也無需校準(zhǔn)
重 復(fù) 性： +/- 0.04”(1mm)（典型）
精 度： +/- 0.06 (1.5mm)
電流消耗：*大250mA（典型）
探頭： 材 質(zhì)： 316L不銹鋼
3/4" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到7個(gè)液位檢測點(diǎn)
1/2" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到4個(gè)液位檢測點(diǎn)
多于7個(gè)點(diǎn)的檢測請與我們聯(lián)系，可定制達(dá)16個(gè)點(diǎn)
K-type SLE 溫度傳感器（可選）
*低液位檢測點(diǎn)可置于探頭末端向上5毫米
兩個(gè)液位檢測點(diǎn)*小距離可為2.5毫米
*大長度： 600毫米，若需更長尺寸與我們聯(lián)系
溫 度： 0° to 125°C (標(biāo)準(zhǔn))，達(dá) 160°C的定制請與我們聯(lián)系
尺寸圖
