陶瓷非標件
: CIP 冷等靜壓制程可制作出更強的結構及高品質陶瓷產品。我們主要供應氧化鋯及氮化硅為主要材質的陶瓷結構產品。
一些典型的應用包括:


陶瓷棒
因各個客戶機臺使用上的不同,因此會延伸出多種不同外觀大小的陶瓷棒。這個部分皆可根據(jù)各戶的需求進行生產。



陶瓷螺絲
半導體以及光電業(yè)機臺設備因會需使用酸堿性較高的腐蝕性化學藥劑,機臺內使用之螺絲也需要考慮到是否可以抗酸堿腐蝕,故許多機臺內的螺絲都采用陶瓷螺絲。

聚焦環(huán)
主要用在半導體以及光電業(yè)蝕刻機臺設備,所以機臺亦長期與化學藥劑接觸,故此零件大部分廠商會使用陶瓷或是石英,石英部分較陶瓷不耐碰撞,石英碰撞后容易造成表免剝落狀態(tài),上機會造成問題。故目前所知采用陶瓷的廠商已經越來越多。


注入器
在半導體機臺設備中扮演著化學氣體輸出入的角色,因為他長時間都需接觸化學氣體,故他必須要有耐酸堿耐腐蝕的功能,以免因為他的腐蝕造成機臺設備的損傷。工程陶瓷零件的耐腐蝕抗酸堿剛好適合使用。


上下保護環(huán)
陶瓷本身無磁性之功能正好符合半導體機臺內保護環(huán)防止雜訊干擾使用,因機臺所需的尺寸大小不同,尺寸部分也會因此不同。這個部分皆可根據(jù)各戶的需求進行生產。


機械手臂
因半導體機臺設備內常使用化學藥劑,機臺設備所生產之產品又必須要可以轉送下一站別,故有了機械手臂這項產品。為了避免機臺內的化學藥劑對機械手臂產生化學反應,許多廠商已經開始改用陶瓷所生產的機械手臂。


鐘罩
會用在反應器系統(tǒng)內,且電漿或是化學氣體有時會在此停留,故在鐘罩的材質使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕,因此目前有許多半導體設備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質,鐘罩之外表也可以配合另外覆蓋其他金屬材質。或本司金屬鐘罩可做陶瓷表面處理。


壓緊環(huán)
用于光電業(yè)前段制程機臺設備中,長期會接觸化學藥劑,陶瓷材質可避免長期接觸化學藥劑產生腐蝕的現(xiàn)象。

陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板

陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板
多用于LCD蝕刻機臺設備,機臺需長期與化學藥劑接觸,中間孔洞部分是需鎖螺絲,所以它的材質多數(shù)必須考量可耐酸堿,抗腐蝕,故目前大多數(shù)都采用陶瓷材質。因應機臺的需求會產生很多不一樣型式,故我們樣式的陶瓷陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板。提供客戶客制化的服務,可配合生產各式陶瓷或金屬長板陶瓷表面處理。


陶瓷絕緣體/防護蓋
會用于LCD蝕刻機臺設備,機臺需長期與化學藥劑接觸,因配合機臺制程別大小不同,如尺寸較小可做成一體成形,如此寸較大則會制作分段制作截取部分分段圖片如左圖。


天板
用于LCD蝕刻機臺設備,機臺需長期與化學藥劑接觸,天板的大小會因為設備的不同而有所不同,這邊可以配合客戶需求進行各種尺寸規(guī)格的生產。

其他應用

其他應用