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電鏡離子清洗器

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱天津奧辛博科技有限責(zé)任公司
品牌
型號
所在地天津市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2025/1/25 12:32:16
訪問次數(shù)43

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公司介紹主營產(chǎn)品

天津奧辛博科技有限責(zé)任公司是豪森國際（香港）有限公司在中國大陸的分支機(jī)構(gòu)，注冊于渤海之濱的天津*產(chǎn)業(yè)園區(qū)，為廣大的中國用戶提供全套的實驗室裝備和技術(shù)解決方案。公司銷售網(wǎng)絡(luò)覆蓋全國并已經(jīng)在上海、廣州和重慶設(shè)立分公司，為用戶提供售前咨詢、進(jìn)口代理、售后應(yīng)用支持和維修等全方面立體式服務(wù)。自2002年成立以來已同多個儀器廠商建立了良好的戰(zhàn)略合作關(guān)系，如美國Keysight公司、美國KLA-Tencor公司、法國Formulaction公司、美國BI公司、美國IBSS Group公司、美國BeckmanCoulter公司、美國TA公司、英國Renishaw公司、美國Thermofisher公司、美國PE公司、新加坡BioPSI公司等。近幾年，分子生物物理研究的迅速發(fā)展，前沿的科學(xué)技術(shù)已經(jīng)為在分子水平上了解一些重要生命現(xiàn)象的本質(zhì)和機(jī)理提供可能，這一影響力已迅速擴(kuò)展到分子生物學(xué)、免疫學(xué)、藥物學(xué)、合成化學(xué)、理論化學(xué)、蛋白質(zhì)工程學(xué)等各方面，公司重點轉(zhuǎn)移至納米材料科學(xué)和生物分子學(xué)兩大領(lǐng)域的專業(yè)儀器的引進(jìn),并簽約代理美國Keysight公司、美國BI公司、新加坡BioPSI公司的產(chǎn)品，成為單分子生物物理領(lǐng)域國內(nèi)能提供全面檢測手段的代理商。公司強(qiáng)大的技術(shù)團(tuán)隊充分保障了公司的技術(shù)能力和服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)在激烈的市場競爭中始終處于地位。我們堅信用戶滿意和支持是公司發(fā)展的生命線。公司以誠信的經(jīng)營之道贏得客戶的信任，以過硬的技術(shù)水平贏得客戶的尊重和認(rèn)可，在業(yè)內(nèi)具有深遠(yuǎn)的影響力，已成為大型科研儀器進(jìn)口商的*。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

GV10x等離子清洗器（順流灰化器）是由ibssGroup與一位擁有等離子源合作開發(fā)而成，是應(yīng)用于真空腔體中的原位清洗機(jī)的一個全新

電鏡離子清洗器產(chǎn)品信息

GV10x等離子清洗器（順流灰化器）是由ibss Group與一位擁有等離子源合作開發(fā)而成，是應(yīng)用于真空腔體中的原位清洗機(jī)的一個全新。

GV10x等離子清洗器通常使用空氣或氧氣產(chǎn)生氧的自由基來去除碳?xì)湮廴尽４送?，NIST（美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究所）研究表明，在GV10x順流灰化器中運(yùn)用氫氣去除沉積在多層鏡面和其它襯底以及氧化敏感的樣品上的碳沉積方面是有效的方法:

1. GV10x可以在分子泵工作的真空壓力狀態(tài)下安全運(yùn)行，而不需要中斷SEM, FIB或TEM系統(tǒng)的軟件控制。

2. 同時它比傳統(tǒng)方法更加有效10到20倍地去除碳和碳?xì)湮廴尽?/span>

3. 它能去除掃描電子顯微鏡(SEM)圖像中的假象; 使電子顯微鏡保持高分辨率和束流穩(wěn)定性。

4. 它不但消除掃描電子顯微鏡圖像中的黑色掃描方框，針對聚焦離子束(FIB)和透射電子顯微鏡(TEM)中的碳污染同樣能得到很好的控制效果。

與普通的等離子清洗機(jī)不同的是:順流灰化器工藝(經(jīng)常被稱為遠(yuǎn)程等離子處理)不產(chǎn)生動力沖擊、沒有濺射損傷、無樣品加熱。GV10x順流灰化器能迅速地清潔掃描電子顯微鏡腔內(nèi)的樣品，允許快速的假象清除，通常僅需幾分鐘的時間，而不需給電鏡腔體放氣。同時具有更大的清潔均勻性，可以更加迅速地清除位于真空腔遠(yuǎn)角落表面上的碳污染。由于較大的功率和壓力選擇范圍，GV10x順流灰化器可以被運(yùn)用到除了SEM腔體之外的清洗，比如清洗同步輻射和紫外光學(xué)，臨界尺寸掃描電鏡(CDSEMs)，檢測性掃描電鏡和X-射線光電子能譜系統(tǒng)，這些系統(tǒng)的大型腔體需要均勻和快速的清潔。

功率： 5 到99 瓦連續(xù)可調(diào)等離子功率

壓力： 2 托到小于5毫托（在等離子源出測量）

在較高的壓力下（大于50 毫托），清洗氣體的平均自由程很短，允許在靠近等離子源的區(qū)域去除污染。

在較低的壓力下（小于50 毫托），清洗氣體的平均自由程比較長, 允許均勻地清除碳污染。同時，清洗發(fā)生在分子泵能安全運(yùn)行的壓力下。

柔和：使用中性氧或氫的自由基通過非動力學(xué)過程灰化氣相碳?xì)浠衔锖捅砻嫣肌?/span>

應(yīng)用實例

Ibss GV10x清洗晶片的表面（在成像之前）并沒有表現(xiàn)出污染積聚的跡象, ibss GV10x 清洗器能夠在共計13分鐘的清洗時間內(nèi)去除晶片上幾乎所有的污染區(qū)域，進(jìn)一步清理可能清除矩形污染區(qū)域，值得注意的是，污染區(qū)域的線寬度在清洗之前明顯大很多，但清洗之后又減少到原來的線寬度。

圖1.Imaging Conditions: 圖2.Imaging Conditions:

1.2kV Accelerating Voltage（加速電壓） 1.2kV Accelerating Voltage

144pA beam current（電子束） 6.08-10-6 Torr chamber pressure

10minutes scan time（十分鐘掃描時間） 144pA beam current

6.08-10-6 Torr chamber pressure（腔體壓力） Cleaning Conditions:

45 Watts 8 minutes

(3mins plus 5mins)

7.53-10-4 Torr chamber pressure

圖3.Imaging Conditions: 圖4.Imaging Conditions:

1.2kV Accelerating Voltage 1.2kV Accelerating Voltage

144pA beam current 144pA beam current

6.08-10-6 Torr chamber pressure Note: After an initial clean time of

Cleaning Conditions: 3 minutes,only a slight

50 Watts 13 minutes (total clean time) contamination rectangle

7.32-10-4 Torr chamber pressure was visible after

scanning for 10 minutes

圖5.Imaging Conditions:

1.2kV Accelerating Voltage

144pA beam current

Note: After a total clean time of 13 minutes,

no contamination was visible after scanning

for 10 minutes

GV10x的拓展應(yīng)用

連接了GV10x 的Gentle Asher™腔體可以用來清潔送入電子顯微鏡腔前的樣品。 GA/GV, 可以極大地防止黑色掃描方框的生成。連接了GV10x 的Gentle Asher™腔體可以用來清潔送入電子顯微鏡腔前的樣品。 GA/GV, 可以防止黑色掃描方框的生成。

在將電鏡腔清潔到可接受的碳?xì)湮廴舅胶?，可以使用順流工藝，通過簡單地將GV10x源移動到Gentle Asher腔中，達(dá)到樣品清潔和儲存的目的?？蛻舻膱蟾媛暦Q這種有效的結(jié)合以更少的損傷巧妙地去除TEM樣品臺和任何類型樣品的污染，同時保持CDSEM、 SEM、FIB 和TEM中碳?xì)湮廴舅降囊卓刂菩浴ｎA(yù)清潔樣品和樣品臺避免了污染電鏡腔體，這樣就延長了電鏡清洗的周期。

將GV10x順流灰化器配置到Gentle Asher™腔上能對樣品進(jìn)行檢測前的清洗。客戶的經(jīng)長期使用發(fā)現(xiàn)，這樣的結(jié)合能有效地減少TEM支撐桿/樣品和SEM樣品上的碳污染, 同時具有更少的樣品損傷，但費(fèi)用卻不及常規(guī) “等離子清洗機(jī)“ 的一半。