晶圓輪廓儀WEP-150EN/200EN/300EN系列可以非接觸自動測定2"- 6"、4"- 8"、8"- 12"晶圓的邊緣倒角形狀以及切口面倒角形狀的尺寸。選配自動上下料單元還可以實(shí)現(xiàn)全自動測量。
• 適用于2” 到 12”晶圓
• 適合于各種材質(zhì)的晶圓
• 可測晶圓邊緣倒角形狀
• 可測晶圓切口面倒角形狀
• 非接觸測量,無污染,無損傷
• 可自動存儲測量結(jié)果
• 操作界面友好,使用方便
• 針對晶圓測量設(shè)計,專業(yè)化水平高