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廣電計量檢測集團股份有限公司

大型HMDS真空烘箱,4門HMDS真空烤箱

參考價 89890 88990
訂貨量 1-88979 ≥88980
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號JS-HMDS100
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2025/3/8 16:36:29
  • 訪問次數(shù)202
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產、銷售及服務的企業(yè)。主要生產半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內部實施了CRM、ERP項目管理,在產品開發(fā)、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網(wǎng)絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質 不銹鋼316 工作室尺寸 300-3000mm
功率 2800 加工定制
類型 真空 適用范圍 半導體,電子,醫(yī)療,新材料,玻璃,陶瓷
溫度范圍 200℃ 重量 190kg
大型HMDS真空烘箱,4門HMDS真空烤箱 是半導體光刻工藝中的關鍵設備,主要用于基片表面預處理,通過六甲基二硅氮烷(HMDS)涂布增強光刻膠與基片的黏附性。
大型HMDS真空烘箱,4門HMDS真空烤箱 產品信息

 

HMDS真空烘箱是半導體光刻工藝中的關鍵設備,主要用于基片表面預處理,通過六甲基二硅氮烷(HMDS)涂布增強光刻膠與基片的黏附性。以下是其核心特點及應用信息:

一、主要用途

  1. ?表面改性?:通過HMDS與基片表面反應,將親水表面轉化為疏水表面,提升光刻膠附著力?
    。

  2. ?去水干燥?:在100℃-200℃高溫下抽真空去除基片表面水分,減少光刻膠涂布缺陷?
    。

二、設備結構特點

  1. ?材質?:采用不銹鋼316L內膽,耐腐蝕且滿足無塵凈化環(huán)境要求?。

  2. ?控制系統(tǒng)?:

  3. 微電腦智能控溫,溫度分辨率0.1℃,波動度±0.5℃?
    ;

  4. 觸摸屏編程控制,可自定義溫度、真空度及時間參數(shù)?
    。

  5. ?密封性?:硅橡膠門封圈設計,真空度可達133Pa?
    。

三、大型HMDS真空烘箱,4門HMDS真空烤箱典型工作流程

  1. ?預熱階段?:抽真空后充入氮氣循環(huán),加熱至設定溫度以去除基片水分?
    ;

  2. ?HMDS處理?:充入HMDS氣體并保持反應時間,形成均勻涂層?
    ;

  3. ?尾氣處理?:真空泵抽排殘余氣體至專用回收系統(tǒng)?
    。

四、技術參數(shù)示例

  • ?溫度范圍?:室溫+10℃~250℃?
    ;

  • ?容積規(guī)格?:常見型號工作室尺寸450×450×450mm(90L)?

  • ?電源配置?:AC220V±10%,功率2400W?
    。

五、大型HMDS真空烘箱,4門HMDS真空烤箱操作規(guī)范

  1. ?安全操作?:需在溫度降至安全范圍后再關閉真空泵,防止設備損傷?

  2. ?維護要求?:定期檢查真空泵油位及密封件狀態(tài),確保運行穩(wěn)定性?



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