FT-351高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)詳情介紹
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
功能概述：overview
1. 四探針雙電組合測(cè)量方法測(cè)試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合
2. 配置高溫四探針測(cè)試探針治具
3. PC軟件對(duì)數(shù)據(jù)的處理和測(cè)量控制.
4. 量程測(cè)試范圍.
應(yīng)用說(shuō)明：
半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對(duì)溫度變化測(cè)量要求，測(cè)控軟件實(shí)時(shí)繪制出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜，及過(guò)程數(shù)據(jù)值的報(bào)表分析.
適用行業(yè)：Applicable industry:
用于：企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)對(duì)導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測(cè)四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測(cè)量。設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法
標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
型號(hào)及參數(shù)Models and technical parameters：
| 規(guī)格型號(hào)Models | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
| 1.方塊電阻范圍sheet resistance | 10-5～2×105Ω/□ | 10-6～2×105Ω/□ | 10-4～1×107Ω/□ |
| 2.電阻率范圍resistivity range | 10-6～2×106Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm | 10-5～2×108Ω-cm |
| 3.測(cè)試電流范圍test current range | 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA | 10mA ---200pA |
| 4.電流精度current accuracy | ±0.1%讀數(shù) | ±0.1讀數(shù) | ±2% |
| 5.電阻精度resistance accuracy | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤10% |
| PC軟件界面 PC software interface | 顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness | ||
| 7.測(cè)試方式test mode | 雙電測(cè)量Double electrical measurement | ||
| 8.四探針儀工作電源working power | AC 220V±10%.50Hz <30W
| ||
| 9.誤差errors | ≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 standard samples） | ≤15% | |
| 溫度(選購(gòu))Highest temperature (choose and buy) | 常溫 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ | ||
| 氣氛保護(hù)（氣體客戶自備） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) | 常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無(wú)色、無(wú)臭、氣態(tài)的單原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. | ||
| 溫度精度 Temperature precision | 沖溫值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控溫精度 control precision：±1°C | ||
| 升溫速度： rate of temperature increase | 常溫開(kāi)始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes | ||
| 高溫材料 High temperature material | 采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder | ||
| PC軟件 PC software | 測(cè)試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)！One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data! | ||
| 電極材料 Electrode materials | 鎢電極或鉬電極 Tungsten electrode or molybdenum electrode | ||
| 探針間距 The probe spacing | 直線型探針，探針中心間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter | ||
| 標(biāo)配外（選購(gòu)）： Except standard configuration (optional) | 電腦和打印機(jī)1套；2.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個(gè)； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs | ||
| 高溫電源： High temperature power | 供電：400-1200℃ 電源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率9KW： Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃ power supply380V ; power 9KW | ||
整機(jī)工作原理
方塊電阻測(cè)試時(shí)電流量程選擇表
| 方塊電阻（Ω/□） | 電流量程 |
| 0---1.2 | 100mA |
| 1---25 | 10 mA |
| 20---250 | 1 mA |
| 200---2500 | 100μA |
| 2000---25000 | 10μA |
| 20000---250000 | 1μA |
| >200000 | 0.1μA |
方阻測(cè)試時(shí)根據(jù)用戶所選擇的電壓測(cè)量低壓6V，中壓15V，高壓32V；材料測(cè)試的時(shí)候一直是6V
四探針測(cè)試方法
1.四探針?lè)y(cè)試薄層樣品方阻計(jì)算和測(cè)試原理如下：
直線四探針測(cè)試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：
當(dāng)電流通過(guò)1、4探針，2、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：
操作流程及步驟
1.系統(tǒng)連接：將各個(gè)部件及控制系統(tǒng)、電源及USB通訊接口接通；
2.調(diào)通系統(tǒng)的連接是否正常，可以從PC軟件及電阻率測(cè)試儀上的數(shù)據(jù)變化看出.
3.在高溫箱體上分段設(shè)定所需要溫度，當(dāng)然也可以不分段而設(shè)定一個(gè)溫度.具體高溫箱體儀表操作請(qǐng)查看《溫度儀表操作手冊(cè)》.
4.待樣品通過(guò)高溫夾具進(jìn)入高溫箱體.
5.開(kāi)啟惰性氣體輸入閥門(mén).
6.溫度實(shí)時(shí)上升過(guò)程中，樣品阻值實(shí)時(shí)曲線變化.
7.帶溫度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，自動(dòng)停止加熱.
8.測(cè)試完畢，關(guān)閉高溫電源，帶10-20分鐘后.
9.通過(guò)高溫手套，移動(dòng)夾具上升離開(kāi)高溫箱體.
10.用鑷子取出樣品.
PC軟件界面圖：
部分客戶案例：
河南大學(xué)
鄭州航空航天學(xué)院
南京航空航天大學(xué)
內(nèi)蒙古科技大學(xué)
西南科技大學(xué)
宜賓學(xué)院
北京理工大學(xué)
優(yōu)點(diǎn)介紹
1. 精度四探針測(cè)試儀匹配
2. 集成系統(tǒng)
3. 溫度達(dá)到1600度.
4. PC軟件實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理及分析.
5. 具有保護(hù)氣體功能.
服務(wù)項(xiàng)目
1.質(zhì)保：12個(gè)月，長(zhǎng)期維護(hù).
2.培訓(xùn)：操作培訓(xùn)：
電話教學(xué)；U盤(pán)教學(xué)文件；遠(yuǎn)程可視溝通；現(xiàn)場(chǎng)教學(xué)；說(shuō)明書(shū)教學(xué)文件
3.保養(yǎng)和維護(hù)：
提供因知保養(yǎng)和維護(hù)文件、標(biāo)識(shí)、表格 、保養(yǎng)提醒.
4.驗(yàn)證文件：
3Q驗(yàn)證文件、計(jì)量證書(shū)
5.擴(kuò)展服務(wù)：
延保服務(wù)，樣品測(cè)試服務(wù)，后延服務(wù)，儀器租賃服務(wù).
