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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

半導(dǎo)體刻蝕沉積流體控溫設(shè)備

參考價(jià)99111.00
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)江蘇康士捷機(jī)械設(shè)備有限公司
  • 品       牌康士捷
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2025/3/24 15:21:37
  • 訪問(wèn)次數(shù)96
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   加熱制冷一體機(jī)組,高低溫一體機(jī)組,低溫制冷循環(huán)器,冷熱兩用冷水機(jī)組,冰水機(jī),螺桿式冷水機(jī),乙二醇冷水機(jī),鹽水冷凍機(jī),復(fù)疊制冷機(jī)組,超低溫深冷冷凍機(jī)組,防爆冷水機(jī),加熱制冷一體機(jī)組,冷凍機(jī)組,制冷機(jī)組-江蘇康士捷機(jī)械設(shè)備有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn),可根據(jù)用戶(hù)工藝要求定做


康士捷生產(chǎn)的工業(yè)控溫設(shè)備有高溫型(5℃~35℃)、中溫型(-5℃~-40℃)、低溫型(-40℃~-80℃)、超低溫型(-120℃~-80℃)、冷熱兩用型(-120℃~+300℃)五個(gè)系列。制冷量大小都有,有防爆型,防腐型,撬裝式,變頻型等。接受非標(biāo)定做。

高低溫一體機(jī)組,加熱制冷循環(huán)器,冷熱兩用冷水機(jī)組等適用于半導(dǎo)體制造裝置及醫(yī)療元件、蝕刻裝置、涂布機(jī)、顯影機(jī)、試驗(yàn)機(jī)、清洗機(jī)、器件測(cè)試、高低溫循環(huán)試驗(yàn)、涂料溫控、真空泵的冷卻腔室電極溫控、試劑冷卻裝置熱縮膜包裝機(jī)等及高壓反應(yīng)釜冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制、雙層玻璃反應(yīng)釜冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制、反應(yīng)釜冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制、微通道反應(yīng)器冷熱源恒溫控制、小型恒溫控制系統(tǒng)、蒸飽系統(tǒng)控溫、材料低溫高溫老化測(cè)試、組合化學(xué)冷源熱源恒溫控制、半導(dǎo)體設(shè)備冷卻加熱、真空室制冷加熱恒溫控制等溫控控制中。



冷水機(jī)在各行各業(yè)使用廣泛,提高生產(chǎn)效益,提升產(chǎn)品質(zhì)量有顯著作用,應(yīng)用行業(yè)有:制藥,石油,生化,生物,汽車(chē),新能源,激光技術(shù),焊接,塑料成型,注塑,擠塑,吹瓶,熱力塑型,真空鍍膜,鍍膜玻璃生產(chǎn),鋼化玻璃,鋁合金,壓鑄,鋁型材,食品加工業(yè),制藥業(yè),造紙,化工,電子蕊片制造,電路板生產(chǎn),電子行業(yè),醫(yī)療設(shè)備,電鍍,電泳,表面外理,鑄造,機(jī)械切削加工,超聲波清洗衣,皮革,皮草加工,油墨生產(chǎn),養(yǎng)殖業(yè)等。各行業(yè)的特殊性對(duì)冷水機(jī)要求不同,因此設(shè)計(jì)了行業(yè)專(zhuān)業(yè)冷水機(jī),例如:激光冷水機(jī),電鍍冷水機(jī),防腐蝕冷水機(jī),注塑冷水機(jī),真空鍍膜冷水機(jī),反應(yīng)釜低溫冷水機(jī),實(shí)驗(yàn)用冷水機(jī),風(fēng)冷式冷水機(jī),水冷式冷水機(jī),焊接冷水機(jī)、擠塑冷水機(jī)、熱力塑形冷水機(jī)、拉線冷水機(jī)、切削冷水機(jī)、研磨冷水機(jī)、鑄造冷水機(jī)、表面處理冷水機(jī)、真空冷水機(jī)、化工冷水機(jī)、氧化冷水機(jī)、制藥冷水機(jī)、養(yǎng)殖冷水機(jī)、皮革冷水機(jī)、食品冷水機(jī)、印刷冷水機(jī)、制漆冷水機(jī)等。




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標(biāo)準(zhǔn)制冷量 根據(jù)貴司工藝需求 加工定制
結(jié)構(gòu)類(lèi)型 活塞式 輸入功率 根據(jù)機(jī)組大小kw
外形尺寸 根據(jù)機(jī)組大小 應(yīng)用領(lǐng)域 半導(dǎo)體等行業(yè)
重量 根據(jù)機(jī)組大小kg
半導(dǎo)體刻蝕沉積流體控溫設(shè)備在半導(dǎo)體制造中,晶圓加工涉及刻蝕、沉積等關(guān)鍵工藝,這些工藝對(duì)溫度控制要求較高,流體控溫設(shè)備因此成為重要的部分。
半導(dǎo)體刻蝕沉積流體控溫設(shè)備 產(chǎn)品信息


半導(dǎo)體刻蝕沉積流體控溫設(shè)備選型,價(jià)格,方案等與江蘇康士捷機(jī)械設(shè)備有限公司溝通,多案例供參考。


康士捷生產(chǎn)的工業(yè)控溫設(shè)備有高溫型(5℃~35℃)、中溫型(-5℃~-40℃)、低溫型(-40℃~-80℃)、超低溫型(-150℃~-80℃)、冷熱兩用型(-150℃~+300℃)等系列產(chǎn)品供貴司選用。制冷量大小都有,有防爆型,防腐型,撬裝式,變頻型等。接受非標(biāo)定做。溫度穩(wěn)定性±0.1℃等可選。


以下列出部分參數(shù),貴司參數(shù)溝通選型后確認(rèn)。

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在半導(dǎo)體制造中,晶圓加工涉及刻蝕、沉積等關(guān)鍵工藝,這些工藝對(duì)溫度控制要求較高,流體控溫設(shè)備因此成為重要的部分。以下是其主要應(yīng)用和特點(diǎn):

1. 刻蝕工藝

溫度控制需求:刻蝕過(guò)程中,反應(yīng)氣體和晶圓表面需保持穩(wěn)定溫度,以確??涛g速率和均勻性。

流體控溫設(shè)備作用:通過(guò)循環(huán)冷卻液或加熱液,精確控制反應(yīng)腔室和晶圓溫度,確保工藝一致性。

2. 沉積工藝

溫度控制需求:化學(xué)氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)等工藝要求基板溫度高度穩(wěn)定,以影響薄膜質(zhì)量和均勻性。

流體控溫設(shè)備作用:通過(guò)調(diào)節(jié)基板溫度,確保沉積速率和薄膜性能符合要求。

3. 流體控溫設(shè)備的關(guān)鍵技術(shù)

高精度溫度控制:采用PID控制算法和精密傳感器,確保溫度波動(dòng)在±0.1°C以?xún)?nèi)。

快速響應(yīng):設(shè)備需迅速調(diào)整溫度,適應(yīng)工藝變化。

均勻性:確保晶圓表面溫度分布均勻,避免局部過(guò)熱或過(guò)冷。

耐腐蝕性:流體系統(tǒng)需使用耐腐蝕材料,以應(yīng)對(duì)化學(xué)品的侵蝕。

4. 常見(jiàn)流體控溫設(shè)備

冷卻水機(jī):用于帶走反應(yīng)腔室的熱量。

加熱循環(huán)器:提供加熱和冷卻功能,適用于多種工藝。

熱交換器:用于高效熱量傳遞,確保溫度穩(wěn)定。

5. 應(yīng)用案例

刻蝕設(shè)備:在等離子刻蝕中,流體控溫設(shè)備用于控制電極和腔室溫度。

CVD設(shè)備:在薄膜沉積中,控溫設(shè)備確?;鍦囟染鶆颍嵘∧べ|(zhì)量。

6. 未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)

更高精度:隨著工藝節(jié)點(diǎn)縮小,溫度控制精度要求將進(jìn)一步提高。

智能化:結(jié)合AI和物聯(lián)網(wǎng),實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控和自動(dòng)調(diào)節(jié)。

節(jié)能環(huán)保:開(kāi)發(fā)更高效的流體控溫系統(tǒng),減少能耗和環(huán)境影響。

流體控溫設(shè)備在半導(dǎo)體制造中至關(guān)重要,直接影響刻蝕和沉積等工藝的質(zhì)量和效率。隨著技術(shù)進(jìn)步,這些設(shè)備將更加精密和智能化,滿(mǎn)足未來(lái)半導(dǎo)體制造的需求。


半導(dǎo)體刻蝕沉積流體控溫設(shè)備選型,價(jià)格,方案等與江蘇康士捷機(jī)械設(shè)備有限公司溝通,多案例供參考。


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