微電子產品、半導體、顯象管等制造業(yè)工業(yè)生產用高純水電子工業(yè)用超純水設備
1、電子工業(yè)用超純水概述
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質。
2.制備電子工業(yè)用超純水的工藝流
電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原?rarr;沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原?rarr;沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3.電子超純水設備特點
設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成前期預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用*和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。
設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成前期預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用*和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。
4.電子工業(yè)用超純水的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
2、超純材料和超純化學試劑；
3、實驗室和中試車間；
4、汽車、家電表面拋光處理；
5、光電產品；
6、其他高科技精微產品；
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
2、超純材料和超純化學試劑；
3、實驗室和中試車間；
4、汽車、家電表面拋光處理；
5、光電產品；
6、其他高科技精微產品；
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