適合SEM(掃描電鏡)、FE-SEM(場發(fā)射掃描電鏡)、TEM(透射電鏡)。


- 扁平樣品臺,用于晶圓的鍍膜(152mm-203mm),標配
- 旋轉(zhuǎn)樣品臺,50mm,不能傾斜
- 旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺,50mm,高度可調(diào)(靶材與樣本之間的距離在30-80mm之間可調(diào)),傾斜角度在0-30度之間
- 用于撥片的旋轉(zhuǎn)臺
加高腔室:需要時可以得到(付費)
儀器參數(shù):
儀器外形尺寸 | 585mm W x 470mm D x 410mm H (total height with coating head open: 650mm) |
重量 | 36.4kg |
包裝尺寸 | 725mm W x 660mm D x 680mm H (44.8kg) |
工作腔室 | 高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H |
安全保護 | 整體PET套筒 |
顯示 | 145mm x 320mm x 240mm TFT彩顯 |
使用者界面 | 直觀的圖形界面,觸摸鍵。記憶功能:維護提醒及zui后100個鍍膜方案日志記錄 |
濺射靶材 | 標配三個57 mm Ø x 0.1 mm金靶 (SC502-314A) |
旋轉(zhuǎn)真空泵 | 50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter. Order separay, 91005. |
真空監(jiān)測 | 皮拉尼測量 |
極限真空度 | 潔凈系統(tǒng)可達 2x10-2 mbar,充氮氣 |
樣品臺 | 標配晶圓樣品臺,152mm-203mm,旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)。 |
濺射 | 根據(jù)鍍膜厚度或內(nèi)置的計時器,濺射電流范圍在0-80mA ,zui長濺射時間不超過60分鐘 |
需要氣體 | 氬氣 99.999%,氮氣可選(排氣時需要) |
電源 | 90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power. (注意電壓的選擇) |
電氣標準 | 符合電氣CE認證要求 |
貨號 | 產(chǎn)品 | 規(guī)格 |
EMS300R T | EMS300R T 大樣品離子濺射鍍膜儀Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater, fitted with three sputtering heads to ensure even metaldeposition. Include three 57mm Ø x 0.3mm gold (Au) sputter targets. A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm wafers is fitted as standard | EACH |
91005 | 愛德華旋轉(zhuǎn)真空泵(單獨購買)Edwards RV5 90L/s two-stage rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and oil mist filter | EACH |