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EMS300R T大樣品離子濺射鍍膜儀Large Chamber Sputter Coaters

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號300R T
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2022/7/12 14:53:44
  • 訪問次數(shù)571
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海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司,簡稱海德生物。它的誕生,緣于幾個不甘寂寞、立志在生物領(lǐng)域做出一番事業(yè)的年輕人。共同的理想、共同的目標,使大家凝聚在海德創(chuàng)業(yè)的旗幟之下,認認真真做事,老老實實做人。 



海德生物代理國外產(chǎn)品的同時,也在某些領(lǐng)域進行著積極的探索和研究,它將會不斷的把自己較好的較早的產(chǎn)品提供給您。





海德生物是一個朝氣蓬勃、積極向上、富有活力的年輕企業(yè)。良好的企業(yè)文化、完善的管理體系、健全的客戶網(wǎng)絡(luò)、創(chuàng)新的戰(zhàn)略構(gòu)想、強大的人才優(yōu)勢為我們的發(fā)展奠定了良好的事業(yè)基礎(chǔ)。不怕做不到,就怕想不到。如果您科研中需要幫助,請找我們;如果您有好的創(chuàng)意或想法,請聯(lián)系我們。





  讓我們成為朋友,生活或許因此而改變!

電鏡耗材 試劑, 膠體金試劑,系列玻片,高級鑷子,刀具及顯微鏡工具,熒光染料等
適合SEM(掃描電鏡)、FE-SEM(場發(fā)射掃描電鏡)、TEM(透射電鏡)。
EMS300R T 與EMS150R T相似,明顯區(qū)別是EMS300R T腔室足夠大,達到203mm,采用旋轉(zhuǎn)真空泵抽真空;此外,它配備三個獨立的濺射頭,確保靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。(注意:既能濺射不易氧化金屬,又能濺射易氧化金屬,另見EMS300T T) 。
EMS300R T大樣品離子濺射鍍膜儀Large Chamber Sputter Coaters 產(chǎn)品信息

  適合SEM(掃描電鏡)、FE-SEM(場發(fā)射掃描電鏡)、TEM(透射電鏡)。

    EMS300R T 與EMS150R T相似,明顯區(qū)別是EMS300R T腔室足夠大,達到203mm,采用旋轉(zhuǎn)真空泵抽真空;此外,它配備三個獨立的濺射頭,確保靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。(注意:既能濺射不易氧化金屬,又能濺射易氧化金屬,另見EMS300T T) 。

特征參數(shù)
1、 可以進行超大樣本(直徑至203mm)的金屬鍍膜
2、 三個濺射頭確保濺射沉積質(zhì)量
3、 單靶材選擇功能,可以進行小樣本鍍膜
4、 多種金屬靶材比如金、金/鈀、鉑等可選
5、 選擇裝配膜厚監(jiān)測儀可以精確控制膜厚
6、 全自動觸摸屏控制,快速數(shù)字輸入,操作簡便
7、 可以儲存不同用戶的程序
8、 能夠記錄100個鍍膜細節(jié)
9、 真空自動控制,且具有真空保持功能
10、 落入式樣品臺拆裝方便(標配是旋轉(zhuǎn)樣品臺)
11、 zui長60分鐘不間斷鍍膜能力
12、 符合人體工程學的整體注塑機身
13、 電氣符合CE要求
14、 三年質(zhì)保
 
樣品臺
    EMS300R T有多種型號的樣品臺可以選擇,用于滿足目前大部分需求。落入式設(shè)計使得不同型號的樣品臺之間更換簡便,樣品臺除了行星臺外其高度均可調(diào),旋轉(zhuǎn)速度在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)實現(xiàn)可調(diào)。
 
 
  • 扁平樣品臺,用于晶圓的鍍膜(152mm-203mm),標配
  • 旋轉(zhuǎn)樣品臺,50mm,不能傾斜
  • 旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺,50mm,高度可調(diào)(靶材與樣本之間的距離在30-80mm之間可調(diào)),傾斜角度在0-30度之間
  • 用于撥片的旋轉(zhuǎn)臺

加高腔室:需要時可以得到(付費)

儀器參數(shù):

儀器外形尺寸
585mm W x 470mm D x 410mm H (total height with coating head open: 650mm)
重量
36.4kg
包裝尺寸
725mm W x 660mm D x 680mm H (44.8kg)
工作腔室
高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H
安全保護
整體PET套筒
顯示
145mm x 320mm x 240mm TFT彩顯
使用者界面
直觀的圖形界面,觸摸鍵。記憶功能:維護提醒及zui后100個鍍膜方案日志記錄
濺射靶材
標配三個57 mm Ø x 0.1 mm金靶 (SC502-314A)

 
真空

旋轉(zhuǎn)真空泵
50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter. Order separay, 91005.
真空監(jiān)測
皮拉尼測量
極限真空度
潔凈系統(tǒng)可達 2x10-2 mbar,充氮氣
樣品臺
標配晶圓樣品臺,152mm-203mm,旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)。

 

濺射
根據(jù)鍍膜厚度或內(nèi)置的計時器,濺射電流范圍在0-80mA ,zui長濺射時間不超過60分鐘

 
其它重要信息

需要氣體
氬氣 99.999%,氮氣可選(排氣時需要)
電源
90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power. (注意電壓的選擇)
電氣標準
符合電氣CE認證要求

 
   訂購信息:
貨號
產(chǎn)品
規(guī)格
EMS300R T
EMS300R T 大樣品離子濺射鍍膜儀Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater, fitted with three sputtering heads to ensure even metaldeposition. Include three 57mm Ø x 0.3mm gold (Au) sputter targets. A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm wafers is fitted as standard
EACH
91005
愛德華旋轉(zhuǎn)真空泵(單獨購買)Edwards RV5 90L/s two-stage rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and oil mist filter
EACH
關(guān)鍵詞:真空泵 貴金屬
15168338725
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