EMS 7620是一款緊湊、實(shí)惠型SEM離子濺射鍍膜儀，鍍碳附件EMS7620-CF作為可選件為鍍碳時(shí)所需。該款設(shè)備具備輝光放電功能，這對(duì)于TEM的碳膜或其它材料樣本表面修飾非常有幫助。
特征：
- 價(jià)格實(shí)惠
- 操作簡(jiǎn)單
- 磁控管濺射頭
- 結(jié)構(gòu)堅(jiān)實(shí)
- 碳絲蒸發(fā)可選
- 樣本臺(tái)高度可調(diào)
- 靶材更換簡(jiǎn)便，金/鈀為標(biāo)配靶材
- 符合的安全規(guī)程要求，具備主動(dòng)電氣連鎖功能，確保操作安全
- 三年質(zhì)保
規(guī)格參數(shù)：
| 整機(jī)尺寸 | 340mm W x 130mm D x 250mm H （unpacked）不包括腔室 |
| 現(xiàn)場(chǎng)條件： | |
| 電氣要求 | 240VAC - 13A, 頻率50Hz，額定功率250VA,真空泵的額定輸出是230V 、10A |
| 濺射氣體 | 氬氣（零級(jí)），配有二級(jí)壓力調(diào)節(jié)器，工作氣體壓力在5-10psi |
| 真空泵 | 真空壓力不低于10-2mbar ，流量50L/m 或 90L/m 的二級(jí)旋轉(zhuǎn)真空泵 |
| 碳蒸發(fā)附件（可選） | EMS 7620-CF 碳蒸發(fā)附件與EMS7620可以配套使用 |
| 貨號(hào) | 產(chǎn)品 | 規(guī)格 |
| EMS 7620 | EMS 7620 迷你型離子濺射鍍膜儀EMS 7620 “Mini” Sputter Coater 包含： 91017-AP gold/palladium （Au/Pd） target, 1m length of 12mm bore flexible vacuum hose, 1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump, 1 x rotary pump plug, comprehensive operating instructions | each |
| 91017-Au | 金靶Gold （Au） target | each |
| 91017-AP | 金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target | each |
| 91017-Pt | 鉑靶Platinum （Pt） target | each |
| 91017-Ag | 銀靶Silver （Ag） target | each |
| 91017-Pd | 鈀靶Palladium （Pd） target | each |
| 91017-.2-Au | 金靶Gold target （Au） 0.2mm thick | each |
| 91017-.2-AP | 金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target 0.2mm thick | each |
| 91017-.2-Pt | 鉑靶Platinum （Pt） target 0.2mm thick | each |
| 91003 | 愛(ài)德華旋轉(zhuǎn)真空泵RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter （115/230V 50/60Hz） | each |
| 96000 | Replacement oil mist filter | each |
| 91040 | 碳蒸發(fā)附件（鍍碳時(shí)選用）Carbon evaporation attachment — EMS 7620 | each |
