EMS 150 膜厚監(jiān)控儀(Film Thickness Monitor)和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用,以便對膜厚進行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。 石英是離子型的晶體,當發(fā)生拉伸或壓縮時能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,稱為壓電,這是因為其結晶點陣的有規(guī)則分布所致。石英晶體壓電效應的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸,切割類型,而且還取決于芯片的厚度。當芯片上鍍了某種膜層后,芯片的厚度增大,則芯片的固有頻率會相應的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過測量頻率或與頻率有關的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。 膜厚監(jiān)控儀(FTM)是如何工作的呢?鍍膜時,膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動,測試每秒鐘振動次數(shù)的改變,從所接受的數(shù)據(jù)中計算膜層的厚度。 儀器參數(shù):
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