又稱三靶大樣品室離子濺射鍍膜儀，EMS 650配套裝有直徑60mm、厚度0.1mm的金靶（用戶可以選擇其它材質(zhì)的靶材）；面板式控制，*的人性化設(shè)計(jì)；濺射參數(shù)可預(yù)先設(shè)置，包括控制排氣的電磁閥（自動(dòng)控制），可以獲得精確的可重復(fù)的鍍膜厚度；濺射頭互鎖，EMS 650和EMS 250鍍碳配件通用；EMS 650可控制獨(dú)立的真空泵。下圖示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基礎(chǔ)上加裝了一個(gè)功率為60L/秒的渦輪增壓泵，能夠獲得更高更潔凈的真空。
性能特征：
- 全自動(dòng)控制
- 低能冷卻系統(tǒng)（（功率是6W）
- 低電壓濺射（100V，DC;每分鐘溫度升高不到2°C）
- 鍍膜厚度精確（2nm金粒）
- 精確的可重復(fù)性
- 鍍膜厚度20nm或200A（掃描電鏡）
- 微電子控制
- 三個(gè)靶臺(tái)同時(shí)濺射
- 聚碳酸脂安全外殼
儀器參數(shù)：
| 儀器尺寸： | 450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H） |
| 工作腔室 | 硼硅酸鹽玻璃: 225mm（Dia.） x 125mm（H） |
| 重量： | 24Kg |
| 靶臺(tái)： | 3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚 |
| 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)： | 155mm Dia. 距離靶臺(tái)40 to 50mm可調(diào) |
| 真空范圍： | ATM 1x10-2 mbar |
| 鍍膜電流范圍： | 0-100mA |
| 鍍膜速率： | 0-20nm/minute |
| 濺射鍍膜時(shí)間： | 0-4 minutes |
| 電源： | 230 volts 50Hz （zui大8 amp 包括泵） |
| 維護(hù)： | 氬氣 通常 4 psi |
| 真空泵（*） | 整套真空泵軟管和油氣過(guò)濾器135L/Min |
訂購(gòu)信息:
| 貨號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 規(guī)格 |
| 91020 | EMS 650 Sputter Coater complete with Targets （3） x 60mm Dia. x 0.1mm thick fitted inclusive as standard | 臺(tái) |
| 91020T | EMS 650T Sputter Coater | 臺(tái) |
| 91025 | Rotary Vacuum Pump |
