活性碳吸附法系利用高性能活性碳吸附劑（adsorbent） 固體本身的表面作用力，將VOC分子之吸附質(zhì)（adsorbate）吸引附著在吸附劑表面，以達(dá)到去除VOC物質(zhì)之目的。 活性碳吸附法在低濃度VOC條件下，可以理想地去除廢氣中揮發(fā)性有機(jī)物，同時有有較佳的經(jīng)濟(jì)效益。故在空氣污染物控制方面，特別適用處理含低濃度VOC之廢氣，例如半導(dǎo)體廠、LCD廠、PCB廠與相關(guān)電子廠等。 依照吸附劑與吸附物質(zhì)問吸引力的不同，吸附法之機(jī)制包括有藉由物質(zhì)間凡得瓦爾力作用之物理吸附及利用產(chǎn)生化學(xué)鍵結(jié)合之化學(xué)作用。其中物理作用為一可逆現(xiàn)象，常被用來由改變壓力或溫度破壞此平衡，以再生吸附劑并回收吸附物質(zhì)，例如蒸氣再生、化學(xué)氧化再生、微波再生等；化學(xué)作用為高放熱反應(yīng)且通常為不可逆反應(yīng)。 吸附劑的種類眾多，但以活性碳較常被采用，主要是因為活性碳對某些VOC之物理吸附效果良好、回收再生容易，而且價格便宜;至于其它吸附劑，如硅膠、硅藻土、活性氧化鋁或合成沸石，則對VOC之吸附選擇性較高，因此需配合廢氣污染物之特性，選用適合之吸附劑。