應(yīng)用范圍
主要用于在塑料、陶瓷、金屬等材質(zhì)部門(mén)鍍制金屬膜、仿金膜等,更換不同的靶材,可得到不同的膜系,如超硬、耐磨、防腐的合金磨等。
主要用于在塑料、陶瓷、金屬等材質(zhì)部門(mén)鍍制金屬膜、仿金膜等,更換不同的靶材,可得到不同的膜系,如超硬、耐磨、防腐的合金磨等。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
1、同時(shí)配備*的圓柱磁控濺射裝置和高效的電阻加熱蒸發(fā)裝置,將磁控濺射技術(shù)和加熱蒸發(fā)技術(shù)的有效結(jié)合,使設(shè)備的適用范圍更廣,可得到多種不同性能的膜層;
2、*的雙門(mén)(室)結(jié)構(gòu),使工件及鍍料的裝卸與鍍膜可同時(shí)進(jìn)行,大大提高工作效率。
1、同時(shí)配備*的圓柱磁控濺射裝置和高效的電阻加熱蒸發(fā)裝置,將磁控濺射技術(shù)和加熱蒸發(fā)技術(shù)的有效結(jié)合,使設(shè)備的適用范圍更廣,可得到多種不同性能的膜層;
2、*的雙門(mén)(室)結(jié)構(gòu),使工件及鍍料的裝卸與鍍膜可同時(shí)進(jìn)行,大大提高工作效率。
磁控濺射鍍膜技術(shù)
用幾十電子伏或更高動(dòng)能的荷能粒子轟擊材料表面,使其原子獲得足夠的能量而濺出進(jìn)入氣相,這種濺出的,復(fù)雜的粒子散射過(guò)程稱(chēng)為濺射。濺射鍍膜是利用濺射現(xiàn)象來(lái)達(dá)到制取各種膜層的目的,即在真空室中利用荷能離子轟擊靶表面,使被轟擊出的粒子在基底上沉積的技術(shù)。在與靶表面平行的方向上施加磁場(chǎng),利用電場(chǎng)和磁場(chǎng)相互垂直的磁控管原理減少了電子對(duì)基底的轟擊,有效降低了基底溫度,使高速濺射成為可能。
:李生
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電子郵件:vacuumsale
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