去離子水是指除去了呈離子形式雜質(zhì)后的純水。標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO/TC 147規(guī)定的“去離子”定義為：“去離子水*或不*地去除離子物質(zhì)，主要指采用離子交換樹(shù)脂處理方法。”現(xiàn)在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。應(yīng)用離子交換樹(shù)脂去除水中的陰離子和陽(yáng)離子，但水中仍然存在可溶性的有機(jī)物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細(xì)菌的繁殖。 在半導(dǎo)體行業(yè)中，去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。 從自來(lái)水到去離子水一般要經(jīng)過(guò)幾步處理 ： 1、先通過(guò)石英砂過(guò)濾顆粒較粗的雜質(zhì) 2、然后高壓通過(guò)反滲透膜 3、zui后一般還要經(jīng)過(guò)一步紫外殺菌以去除水中的微生物 4、假如此時(shí)電阻率還沒(méi)有達(dá)到要求的話，可以再進(jìn)行一次離子交換過(guò)程zui高電阻率可達(dá)到18兆。 相對(duì)而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電導(dǎo)率一般不如純度高的去離子水，半導(dǎo)體工業(yè)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水。
