ANT95-L系列納米平移臺
1.實現(xiàn)大行程納米定位
2.高分辨率(1納米),重復定位精度(75納米),定位精度(250納米)
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
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ANT95-XY系列雙軸納米平移臺
1.結構緊湊25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.實現(xiàn)大行程納米定位
3.高分辨率(1納米),重復定位精度(75納米),定位精度(250納米)
4.1納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性
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-L-Z系列納米垂直平移臺
1.大行程實現(xiàn)納米定位
2.高分辨率(2納米),重復定位精度(75納米),定位精度(300納米)
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
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-R系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺
1.高分辨率(0.01角秒)
2.高性能
3.的跳動指標
4.的定位性能
5.高動態(tài)特性
6.多軸結構