中環(huán)真空泵告訴您:密封問(wèn)題是影響渦旋真空泵極限真空度的主要因素,壓縮氣體會(huì)通過(guò)側(cè)向間隙和軸向間隙返流,這就需要采用軸向和徑向密封來(lái)減少氣體返流。渦旋真空泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封,即齒頂密封,和徑向嚙合間隙的切向密封,即齒側(cè)密封。由于渦旋真空泵的型線特性,吸氣腔與排氣腔沒(méi)有直接相連,中間存在壓縮腔,所以相鄰工作腔間的壓差不大,較易密封氣體。
一、軸向間隙和齒頂密封
軸向間隙為動(dòng)渦旋盤齒頂端與靜渦旋盤盤面以及靜渦旋盤齒頂端與動(dòng)渦旋盤盤面之間存在的間隙。常在動(dòng)渦旋盤和靜渦旋盤的齒頂面上開設(shè)與渦旋齒型線相同的渦旋槽,并在渦旋槽內(nèi)嵌入特種材料的密封條來(lái)密封。由于密封條與渦旋盤盤面之間存在相對(duì)運(yùn)動(dòng),所以要求密封材料具有耐磨、耐高溫的特性。渦旋齒高度的加工誤差,動(dòng)渦旋盤和靜渦旋盤的安裝誤差,渦旋齒的熱變形,雙面泵中動(dòng)渦旋盤面兩端的壓力差等都會(huì)引起軸向間隙的變化,這要求密封材料具有一定的彈性和強(qiáng)度,補(bǔ)償間隙的變化。目前常用的密封材料為摻入特殊材料的聚四氟乙烯混合物。為了保證渦旋齒齒端的強(qiáng)度,渦旋槽不要太深。渦旋泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)應(yīng)易于動(dòng)、靜渦旋盤的拆卸,當(dāng)*運(yùn)轉(zhuǎn)后,密封條不滿足密封要求時(shí),可以較方便的進(jìn)行替換。
二、徑向間隙和齒側(cè)密封
徑向間隙為動(dòng)渦旋齒和靜渦旋齒間嚙合處的間隙。齒側(cè)密封即為兩壓縮腔之間的間隙密封,密封范圍從zui小間隙處開始,沿順時(shí)針、逆時(shí)針各旋轉(zhuǎn)0.3π。徑向間隙過(guò)大,密封效果不好影響極限真空度;徑向間隙過(guò)小,渦旋齒之間會(huì)產(chǎn)生摩擦甚至膠合,破壞動(dòng)、靜渦旋齒壁面。徑向間隙會(huì)隨工況而變化,設(shè)計(jì)者可先通過(guò)計(jì)算機(jī)模擬渦旋齒隨溫度的變形狀態(tài),然后再通過(guò)修正渦旋齒壁厚,使泵在達(dá)到工作溫度時(shí),徑向間隙*,以此來(lái)減小泄露,達(dá)到密封的目的。
極限真空度是渦旋真空泵的主要性能指標(biāo),齒頂密封和齒側(cè)密封是影響極限真空度的主要因素。密封效果主要受加工精度、材質(zhì)和表面處理等因素決定,所以提高加工精度,改善渦旋盤材料,合理的表面處理可提高密封效果,這需要較多領(lǐng)域的專家合作,共同努力實(shí)現(xiàn)。
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