一、高溫充氮潔凈產(chǎn)品特點(diǎn): 1.箱體周身做密閉氬弧焊接, 耐高溫硅膠迫緊; 2.選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼板材,防止產(chǎn)生PARTICLE; 3.安裝氮?dú)饪刂蒲b置,箱體可以接入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)潔凈; 4.SUS304#不銹鋼無塵化電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵; 5.120K級高密度硅酸鋁纖維填充,箱體內(nèi)部高達(dá)350度外部不超過45度 6.特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計,含氧量:<500PPM 二、主要技術(shù)參數(shù) 2.1產(chǎn)品名稱:潔凈充氮烤箱 2.2產(chǎn)品型號:PHH-270 2.3 電源:AC380V 50HZ 2.4 功率:6.5Kw 2.4 規(guī)格尺寸:工作尺寸(mm):W600×H900×D500 外部尺寸(mm):W980×H1620×D760 2.5 溫度范圍:常溫+30~350℃ 2.6 含氧量:<500PPM 2.7 均勻性能:±2.0%(空箱測試) 2.8箱體結(jié)構(gòu): 機(jī)臺結(jié)構(gòu):溫控器位于箱體頂部,特殊門設(shè)計。 內(nèi)壁材質(zhì):內(nèi)膽材料,采用 SUS1.5mm厚度優(yōu)質(zhì)不銹鋼鋼板,周身做密閉氬弧焊接。 外部材質(zhì):外部采用1.2mm厚度冷扎碳鋼板,經(jīng)防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷。 保溫材質(zhì):120K級高密度硅酸鋁纖維填充,保溫層厚度為120mm。 2.9 電氣系統(tǒng): 控溫方式:訊號來源,采用 PT100 鉑電阻 感應(yīng)棒±0.5%。 溫控裝置:日本富士智能程序溫控儀表, LED數(shù)字顯示及設(shè)定、P.I.D自動演算、時間定時。 溫控輸出:SSR輸出 氮?dú)饪刂蒲b置:氮?dú)饬髁坑?,氮?dú)膺M(jìn)出口。 2.10 電加熱器:采用覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化U型管狀(不銹鋼SUS304#)電熱發(fā)生器 2.11 完善的安全保護(hù)措施:漏電斷路器/超溫保護(hù)/開門氮?dú)庾詣又袛啾Wo(hù)/馬達(dá)過載電流保護(hù) 潔凈烘烤箱: 傳真: : ,:周高超 ; : :蔣鑫,參考:http://www.done-e.com. 節(jié)能環(huán)保晶圓清洗烘干箱,350度充氮潔凈烘干箱 |