關(guān)于高壓氣體擴(kuò)散器的技術(shù)說明
深圳億天凈化：主營美國METONE塵埃顆粒測試儀、潔凈室檢測儀、無塵吸塵器、進(jìn)口風(fēng)速儀、塵埃粒子在線監(jiān)測系統(tǒng)、ATI高效過濾器檢漏。：
技術(shù)交流>>新版 CGMP 規(guī)定 如何量測高壓氣體(如氮?dú)?/span>, 壓縮空氣, 惰性氣體)的潔凈度CGMP MetOne Particle Counter for PAr, CDA, GN2, PN2 , Pipe TEST
另外 無論您之前用誰的品牌（進(jìn)口的 或 國產(chǎn)的）的塵埃粒子計數(shù)器, 都可以接上我們MetOne的 高壓氣體減壓閥 去測試你們家的高壓氣體(如氮?dú)?/span>, 壓縮空氣, 惰性氣體)的潔凈度
當(dāng)然用我們的品牌會更*.
MetOne3413 or 2400 for 0.3 or 0.5 um 安裝方式簡單
上游供氣段(GAS:PAr, CDA, GN2, PN2 , Pipe > 3423 we can do it.) + Diffuser (約USD3500.-) + CDA Purge
目前, 接管路測試仍建議使用原廠泄壓閥Diffuser(壓力需在 30~150PSI, 非一般調(diào)壓閥, 請參考配線圖) +Particle counter ,
是因?yàn)闉榱司S持進(jìn)入Particle counter的氣體壓力能夠在常態(tài) 1atm 下 ,
及1CFM的取樣速度,故量測時間只需1min中就;(若0.1CFM的取樣速度,故量測時間需10min)_可以知道目前量測的情況,，數(shù)據(jù)傳輸方式: 請看各機(jī)型的通訊協(xié)議^^
高壓氣體微粒子計數(shù)器
< 高壓氣體微粒子計數(shù)器>
高壓氣體經(jīng)過 Diffusor (30~150 Psi) 壓力調(diào)整至平常的壓力狀態(tài)后再經(jīng)由Particle counter 讀出目前氣體中Particle 分布情形 ，可量測范圍0.O2um-1um。應(yīng)用于電子廠、光電廠中高壓氣體如PN2、O2、H2、CDA、AR..等。
常見問題
一、有關(guān)請購之量測 High Pressure Gas Particle counter 注意事項
何種機(jī)型適合量測何種氣體??
2100C/237H/3400/2400/227/HHPC2- 6/237 for PAr, CDA, GN2, PN2
CNC1104 for PAr, CDA, GN2, PN2
CNC1107 for H2, O2 inert gas
二、Sampleing Flowrate 需要 1.0 CFM 此大之耗量?
在相同的取樣本積下HPC-101取樣時間為MetOne2100的10倍
PMS需花10mins 才能知道完整的Data, MetOne2100只需1mins
zui少的損耗,快速即時的了解目前CDA的狀況。
三、Vacuum-Pump之作用為何?
是較新的設(shè)計, 與碳刷式PUMP不同的地方在于此設(shè)計在運(yùn)轉(zhuǎn)時不會產(chǎn)生Particals污染環(huán)境,
四、請?zhí)峁┕苈放渲弥鞒虉D及注意事項?
注意壓力是否有到達(dá)規(guī)定 30~150 Psi
五、放置環(huán)境條件有無限制?
Environment Operating 55 to 84°F (12 to 29°C),
20 to 95% relative humidity, non-condensing
Storage -40 to 140°F (-40 to 60°C),
up to 98% relative humidity, non-condensing
接CDA量測 露點(diǎn)電 –70度 , 沒問題
若需用ParticleCounter量測環(huán)境時, 只需將HPD從Particle Counter拆卸即可, 再用Particle Counter 量測Cleanroom(Class1~100)環(huán)境
